昆山國華等離子處理設備去半導體氧化膜

作為"新一代電子的基礎材料"而備受顯示器技術人員關注的就是氧化物半導體TFT。因為氧化物半導體TFT是驅動超高精細液晶面板、有機EL面板以及電子紙等新一代顯示器的TFT材料佳候選之一。預計早將在2012~2013年開始實用化，將來或許還會成為具備"柔性"和"透明"等特點的電子元件的實現(xiàn)手段。

氧化物半導體是通常容易成為絕緣體的氧化物，但卻具有半導體的性質。在眾多物質當中，受關注的是"透明非晶氧化物半導體(TAOS:TransparentAmorphous Oxide Semiconductors)"。非晶IGZO(In-Ga-Zn-O)就是一個代表性例子。除了三星和LG顯示器等韓國企業(yè)外，日本的夏普、凸版印刷以及佳能等企業(yè)也在致力于TFT的應用開發(fā)。

TAOS類TFT的載流子遷移率高達250px2/Vs以上，特性不均現(xiàn)象也較小。因此，可驅動像素為"4K×2K"(4000×2000像素級)、驅動頻率為240Hz的新一代高清晰液晶顯示器。當前的標準技術--非晶硅類TFT以及作為新一代技術而被大力開發(fā)的有機半導體TFT因載流子遷移率只有數(shù)cm2/Vs以下，很難應用到上述用途中。即使是在有機EL顯示器領域，與開發(fā)案例較多的低溫多晶硅類TFT相比，實現(xiàn)大屏幕化時還是TAOS類TFT具有優(yōu)勢這是因為AOS類TFT可以抑制有機EL面板中存在著的因TFT特性不均而導致的顯示不均現(xiàn)象。TAOS薄膜可通過濺射法形成，制造成本也容易降低。

昆山國華等離子處理設備去半導體氧化膜，為您提供優(yōu)質服務！