STM6-LM顯微鏡擁有亞微米級的精度,實現(xiàn)了優(yōu)異的通用性,可對各種零部件和電子元件進行高性能的三軸測量。低倍率選項使之成為精密工具制造者的理想選擇。
快速測量大型樣品
充分利用空間的電氣系統(tǒng)一體型機體
搭載了250 mm×150 mm大測量范圍的載物臺。X、Y軸的驅(qū)動裝置采用了離合器控制機構(gòu),只使用一個控制桿就能快速切換粗調(diào)和微調(diào)。載物臺的隨意伸縮,實現(xiàn)了大型樣品的快速檢查。另外,還可以在載物臺上放置多個樣品從而進行連續(xù)測量。
光柵尺 | 光柵尺的精度直接影響測量顯微鏡的精度。奧林巴斯采用*的高精度光柵尺讀取系統(tǒng)將光學信息轉(zhuǎn)化為電信息來準確測量。此外,奧林巴斯還根據(jù)阿貝定理(需要測量的長度和標尺,在其測量方向上并排成一條直線時,誤差zui?。┐_定標尺的內(nèi)置位置,zui大程度的減少了誤差。 |
標準的溯源體系
為了實現(xiàn)高精度的產(chǎn)品質(zhì)量,從制造到裝配的每一個階段,奧林巴斯都配備了日本國內(nèi)*的生產(chǎn)環(huán)境。在管理嚴格的恒溫工廠中,技能嫻熟的員工精密加工仔細挑選的原材料,精心打造每一件產(chǎn)品。此外,從零部件到成品,所有的生產(chǎn)步驟都實行了嚴格的溯源體系管理。
測量顯微鏡溯源體系圖
注重操作性的機體設計
快速完成Z軸測量的電動調(diào)焦機構(gòu)
采用了電動調(diào)焦機構(gòu),大幅度提高了調(diào)焦和測量高度、深度時的操作性能。使用Z控制器可以輕松切換粗調(diào)和4個級別的微調(diào)(800、400、200、50 μm),在很大程度上減輕了工作疲勞。