超聲波顯微鏡被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及集成電路的制造和封裝測試行業(yè)，是一種理想的無損檢測儀器，能夠有效地檢測器件或材料內(nèi)部的開裂、氣泡、雜質(zhì)、斷層等缺陷。
其主要工作原理是，通過壓電陶瓷將電信號轉(zhuǎn)換成超聲波（>20KHz），用超聲波對樣品內(nèi)部進行高精度地掃描，根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異，獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射，再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構(gòu)成為，電氣部件、機械裝置、聲學(xué)部件、軟件系統(tǒng)。超聲波顯微鏡產(chǎn)品特點
SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷，而且對于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有的檢測性能。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量，使用 ECHO 的設(shè)備和軟件
其它關(guān)鍵特點：
- 減少實驗室空間（占地面積?。?/span>
- 鍵盤快捷鍵（方便移動操作）
- 全焊接機身框架（促進平臺穩(wěn)定性）
- 降低水槽高度（人體工程學(xué)設(shè)計）
- 可同時進行反射掃描和透射掃描
- 大 360 度可視
- 超大掃描面積
- 水槽底部傾斜（易于排干水）
- 探頭隨 Z 軸移動（取代托盤上下移動）
- 可滑動支架
- 符合歐洲機械指令
- 緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計（低維護）
- 符合 CE,SEMI S2,NRTL
- 可滑動的電氣面板（方便維護）
防靜電涂層（安全罩、水槽、門等）
