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智能型HMDS涂膠機(jī)，自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)

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公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
品牌雋思
型號(hào)
所在地上海
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2022/3/19 11:21:05
訪問次數(shù)2502

產(chǎn)品標(biāo)簽:

HMDS烘箱 HMDS涂膠機(jī)HMDS涂布機(jī)HMDS鍍膜機(jī)HMDS真空系統(tǒng)

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司（以下簡(jiǎn)稱“雋思儀器”）是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨，為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的*好評(píng)，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗(yàn)箱，高低溫試驗(yàn)箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測(cè)儀，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀，電線電纜檢測(cè)儀器，真空烘箱，黑蒜試驗(yàn)機(jī)，橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力，做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理，在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程，形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì)，以飽滿的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來！

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

材質(zhì)	316	工作室尺寸	450mm
功率	2.8	加工定制	是
類型	真空	適用范圍	HMDS專用
溫度范圍	200℃	重量	180kg

智能型HMDS涂膠機(jī)，自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)也稱為HMDS處理，是用于使晶片表面呈疏水性的處理。

智能型HMDS涂膠機(jī)，自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

智能型HMDS涂膠機(jī)，自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)用途
也稱為HMDS處理，是用于使晶片表面呈疏水性的處理。
光刻膠的顯影液為水溶液時(shí)(使用正型光刻膠等時(shí))，必須進(jìn)行處理。 HMDS是六甲基二硅氮烷的簡(jiǎn)稱，它是通過以下反應(yīng)使甲基(―CH3 )結(jié)合在硅晶片表面的物質(zhì)。該化學(xué)式左邊的ho–Si≡被稱為硅烷醇基，存在于si的氧化物( SiO2)的表面，使表面呈親水性。在大氣中，在Si的結(jié)晶表面通常也會(huì)自然地生成氧化膜，所以在Si晶片的表面仍然存在該硅烷醇基。因此，可以認(rèn)為在HMDS和硅晶片之間一定會(huì)發(fā)生這種反應(yīng)。晶片表面的兩個(gè)硅烷醇基反應(yīng)一個(gè)HMDS，其結(jié)果是硅烷醇基被甲基這種疏水性傘覆蓋，因此整個(gè)Si晶片表面變?yōu)槭杷孕再|(zhì)。另外，該反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生NH3 (氨)。當(dāng)然，對(duì)于沒有硅烷醇基的表面，不能通過HMDS進(jìn)行疏水化。那么，存在硅烷醇基的表面(例如帶有自然氧化膜的Si晶片或CVD膜的表面)是親水性的，因此使用以水為主要成分的顯影液(例如正型抗蝕劑用的顯影液)時(shí)，顯影液容易浸入與晶片表面抗蝕劑之間。由此，產(chǎn)生顯影時(shí)抗蝕劑的圖案剝離的問題。 HMDS處理的作用在于將晶片表面疏水化，防止顯影液的浸入。這樣，抗蝕劑難以剝離，因此有時(shí)也被稱為“HMDS處理會(huì)改善抗蝕劑的密合性”。
智能型HMDS涂膠機(jī)，自動(dòng)HMDS涂膠鍍膜機(jī)技術(shù)參數(shù)

內(nèi)腔尺寸：300×300×300、450×450×450、550×550×600（mm），可定制

材質(zhì) ：內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼，外箱采用冷軋板噴塑或不銹鋼，

溫度使用范圍：80-200℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動(dòng)度：≤±0.5

真空度：≤100pa（1torr）
時(shí)間設(shè)置：精度1S

潔凈度: 設(shè)備采用無塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境

電源及總功率: AC 220V±10% / 50HZ

控制儀表: 人機(jī)界面

擱板層數(shù): 一、二層

HMDS控制：可控制HMDS藥液添加量

真空泵：無油渦旋真空泵（多種可選）
保護(hù)功能：溫度與程序鎖定功能，HMDS泄漏報(bào)警功能，氣體管路預(yù)熱功能，儲(chǔ)液罐低液位提示功能，自動(dòng)加液功能等。