概要
CS-137高精度化學(xué)藥液濃度計專為半導(dǎo)體制造時清洗制程中所使用的BHF溶液而設(shè)計。實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應(yīng)性和小巧化，可用于監(jiān)測硅氧化膜的蝕刻以及晶片表面的微粒清除作業(yè)時所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分濃度。依據(jù)濃度計的輸出而進行的反饋控制，可以確保BHF溶液的濃度保持在允許范圍內(nèi)，同時，還可以避免不必要的藥液更換工作。
特征
- 監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理。
實現(xiàn)了以大約3秒這樣短的測量周期，大幅提高了濃度的實時跟蹤性。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。
- 小巧設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間
底面面積只有原先的2/3(*)左右，這樣的小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
*與本公司產(chǎn)品CS-327比較
- 通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量
通過濃度計的信號輸出，進行BHF溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。
- 全自動監(jiān)測與簡易控制
用戶只需引入BHF溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，也可以測量水的濃度，從而可以跟蹤水因溶液蒸發(fā)和附著到晶圓而應(yīng)起的濃度變化。這樣有利于二氧化硅的調(diào)整控制。
- 通過采取全面的氣泡對策，可監(jiān)測高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。
- 采用DC24V，實現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷BHF溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。
規(guī)格
型號 | CS-137-2503 | CS-137-1003 | |
|---|---|---|---|
監(jiān)測對象 | BHF(氫酸/氟化銨溶液) | ||
測量原理 | 吸收分光譜測定法 | ||
濃度計算的原理 | 溫度補償型多變量解析法 | ||
量程 | 氟化銨：15.0?25.0% | 氟化銨：0.0?10.0% | |
再現(xiàn)性 | 氟化銨：±0.3% | 氟化銨：±0.3% | |
藥液條件 | 溫度 | 20?30℃ | |
流量 | 20?60mL/min | ||
壓力 | 0.10?0.20MPa | ||
檢測周期 | 最小約3秒 | ||
設(shè)置溫度 | 20?30℃ | ||
操作面板 | 1)溫度檢測值的顯示：氟化銨、氫氟酸、水 | ||
串行輸入 | RS-232C | ||
并行輸入 | DC12?30V(光耦合器絕緣) | ||
并行輸出 | 開路集電極輸出為ON時電流：5mA；為OFF時的電壓：30V | ||
模擬輸出 | 4?20mA(2輸出：NH4F濃度、HF濃度) | ||
電源 | DC24V±10%， 2A | ||
外形尺寸 | 205(W)×329(D)×269(H)mm | ||
質(zhì)量 | 約11kg | ||
連接配管尺寸 | 導(dǎo)入用、排出用：外徑為6mm(內(nèi)徑為4mm) | ||
配管接頭 | Nippon Pillar Super型 | ||
有關(guān)上述以外的量程，請另行咨詢協(xié)商。
