概要
外形小巧、運(yùn)營(yíng)成本低、應(yīng)用范圍廣
HORIBA的PD系列產(chǎn)品運(yùn)轉(zhuǎn)效率高，具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性，受到眾多半導(dǎo)體制造工廠的高度評(píng)價(jià)。繼承了各個(gè)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)的搬運(yùn)系統(tǒng)，高通過量、可靠性高的光學(xué)系統(tǒng)，以及具有防誤測(cè)功能等高性能設(shè)備并巧妙組合成一個(gè)整體的產(chǎn)品就是PR-PD3。和以往的機(jī)型(PR-PD2)相比，它的外形尺寸小了約1/2，追求低運(yùn)營(yíng)成本。檢測(cè)靈敏度達(dá)到0.5μm，具有廣泛通用性。誕生了可以用來滿足光掩模(reticle/mask)上異物檢測(cè)這一廣泛需求的簡(jiǎn)便裝置。
特征
- 和以往機(jī)型相比，設(shè)計(jì)小了1/2左右。 和PR-PD2相比較，底面面積小了1/2，實(shí)現(xiàn)了小巧化。由于占地面積大幅變小，所以即使添加操作裝置(可選件)，也可以自由地進(jìn)行布局。
- 實(shí)現(xiàn)了低運(yùn)營(yíng)成本。 采用激光中具有超群經(jīng)濟(jì)性的氦氖激光，同時(shí)，采用了結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的載物臺(tái)搬運(yùn)系統(tǒng)等，大幅度地降低了維護(hù)運(yùn)營(yíng)成本。
- 有效的防誤測(cè)措施。 搭載有粗圖案用的偏振差動(dòng)和細(xì)微圖案用的低通差動(dòng)這二個(gè)功能。通過同時(shí)使用這二種方法，可以有效地防止OPC等具有兩種特性的圖案誤檢測(cè)。
規(guī)格
檢測(cè)對(duì)象 | 有(無)表膜光掩模(reticle/mask)上的微粒子 |
|---|---|
測(cè)量原理 | 激光散射方式 |
可次粒徑 | 約7分鐘/2個(gè)面(在5英寸Reticle) 2個(gè)面檢測(cè)(5英寸)從開始檢測(cè)到顯示數(shù)據(jù)約為7分鐘 |
靈敏度 | 圖案(Pattern)面：0.5μm、玻璃(Glass)面：5.0μm、表膜面(Pellicle)：10.0μm(※PSL相當(dāng)) |
光掩模盒 (請(qǐng)?jiān)谟嗀洉r(shí)進(jìn)行) | 制曝光裝置盒(5、6英寸用) (標(biāo)準(zhǔn)配置：對(duì)應(yīng)一種尺寸的Reticle) |
測(cè)量結(jié)果 | 對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù)顯示于平面顯示器 |
外觀尺寸 | 約900(W)×1350(D)×1590(H) mm |
設(shè)
