概要
由于是無(wú)載體類型，所以可以構(gòu)筑小型氣化系統(tǒng)
由于通過(guò)質(zhì)量流量來(lái)測(cè)定發(fā)生量，所以可以不必受到溫度?壓力的影響進(jìn)行液體材料的氣化供給。
特征
- 超小型 ： 只有原來(lái)的1/5
- 高速*氣化 ： 可以瞬間*氣化被供應(yīng)的液體。
- 安裝固定方向自由 ：無(wú)論在哪一個(gè)安裝固定方向，都可以保持相應(yīng)功能。
- 不需要?dú)馀菔饺萜?、氣化容?
規(guī)格
VC-1310 | |
產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時(shí)) | 不滿1.0 CCM (液相的換算) ※1 |
對(duì)象液體種類 | 會(huì)腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外 |
可升溫溫度 | 值.150℃ |
接氣部材質(zhì) | SUS-316L (PTFE) |
耐壓 | 1.0MPa(G) |
VC-1310 | |
產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時(shí)) | 值.5.0 CCM不到 (液相的換算) ※1 |
對(duì)象液體種類 | 會(huì)腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外 |
或升溫溫度 | 值.150℃ |
接氣部材質(zhì) | SUS-316L (PTFE) |
耐壓 | 1.0MPa(G) |
※1 不同的液體種類將會(huì)有所差異。請(qǐng)進(jìn)行咨詢協(xié)商。
產(chǎn)品相關(guān)圖及其它
