CMPA系列濾芯是適用于氧化物CMP、鎢CMP及銅CMP中塊狀顆粒以及膠體的過(guò)濾。采用分級(jí)處理、*的漸變孔徑深層過(guò)濾技術(shù),實(shí)現(xiàn)分級(jí)過(guò)濾,使濾芯具有高納污空間,大大延長(zhǎng)了濾芯的使用壽命。
產(chǎn)品特性
梯度過(guò)濾
濾膜孔徑由外到內(nèi)逐漸減小,截留大顆粒,放行有效顆粒。增大了有效過(guò)濾面積,提高了納污量,從而延長(zhǎng)了濾芯使用壽命
低析出
濾芯采用純PP材料,生產(chǎn)過(guò)程不使用膠粘劑和表面活性劑,有效控制了過(guò)濾過(guò)程中的析出問(wèn)題。純PP結(jié)構(gòu)保證了廣泛的化學(xué)相容性,適合多種液體過(guò)濾
可選多種精度、接口
可選0.5-90μm的多種過(guò)濾精度,滿足不同拋光液的工藝要求。長(zhǎng)度、接口類型亦有多種規(guī)格提供選擇,可以配合不同類型的過(guò)濾器進(jìn)行使用
應(yīng)用領(lǐng)域
拋光液的過(guò)濾
材料結(jié)構(gòu)
濾材:PP
外殼/中心桿/端蓋:PP
濾芯性能
工作溫度:80℃
工作壓差:4bar@21℃
2.4bar@80℃