Leica離子減薄儀EM RES101是一臺全計算機(jī)控制的多功能離子減薄系統(tǒng),

主要特點

1、減薄角度可調(diào)由0º至90º

2、一體化設(shè)計,重復(fù)性實驗設(shè)備,可靠具操作性

3、全電腦控制,精確的參數(shù)調(diào)整,運行中無需人干涉

4、鞍式離子槍,高能量-快速蝕刻

5、制冷系統(tǒng),銅傳導(dǎo),確保TEM,SEM在低溫下操作

6、主機(jī)內(nèi)置2級泵,確保高真空

7、減少裝卸時間,高效率

8、操作簡便直觀,帶自保護(hù)防止離子溢出與過熱功能

9、法拉力環(huán)檢查樣品是否穿孔,自動終止功能

10、裝載閘保持系統(tǒng)高真空度穩(wěn)定不變

11、減薄過程中離子能量高低可調(diào)

12、內(nèi)置視頻監(jiān)視器,直接觀察樣品減薄情況

13、可編程,觸摸屏設(shè)計,直觀操作