產品概述:
KJ-T1200 CVD是具有80mm直徑氧化鋁管真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統(tǒng)的管式爐。它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。
技術參數:
型號 | 帶有3個MFC氣體通道的 KJ-T1200 CVD | |
顯示 | 發(fā)光二極管 | |
溫度 | 1200℃短時間 | |
連續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ | |
加熱速率 | 建議:0?10℃/ min | |
溫度區(qū) | 220毫米+220毫米+220毫米 | |
加熱元件 | 鉬電阻絲 | |
熱電偶 | K型 | |
溫度控制精度 | ±1℃ | |
管尺寸 | 80x1200mm(外徑x長) | |
管座 | 包括兩個纖維狀陶瓷塊,用于阻止管子內部的熱輻射(在加熱之前,陶瓷塊必須*插入爐膛中)。 | |
溫度控制 | 通過SCR功率控制進行PID自動控制 | |
程序和斜坡 | 30步可編程 | |
真空法蘭 | 帶閥的不銹鋼真空法蘭 | |
功率 | 220V,50 Hz,單相6KW | |
質量流量計 | 三種精密質量流量計: MFC 1:氣體流量范圍為0?100 sccm MFC 2:氣體流量范圍為0?200 sccm MFC 3:氣體流量范圍為0?200 sccm (氣體流量范圍可根據您的要求) 底殼上裝有一個氣體混合罐,底殼左側裝有3個不銹鋼針閥,以手動控制3種氣體的混合 下面的照片是4 MFC供參考。3 MFC將帶有3個顯示器 |
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。