捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡新一代FE-SEM旗艦機(jī)型。 它繼承了上一代廣獲好評(píng)的如的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等性能的同時(shí)，操作性能極大地簡(jiǎn)單化。 該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其性能。
捷歐路JEOL JSM-7900F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)：
新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine（New Electron Optical Engine），是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結(jié)晶。 它綜合了透鏡控制系統(tǒng)和自動(dòng)化技術(shù)，即使改變電子光學(xué)條件，光軸的偏離也極小，大大提高了可操作性及觀察精度。 無(wú)論是誰(shuí)都可以很簡(jiǎn)便地發(fā)揮出儀器原本的功能。GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。 新開(kāi)發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺(tái)施加高達(dá)5 kV的偏壓。 因此，使用GBSH模式不需要使用專用的樣品桿就可以無(wú)縫過(guò)渡到其他模式。
| 分辨率 | 1.1 nm (0.5 kV)*1、1.0 nm*2 0.7 nm (1 kV)*1、0.7 nm*2 0.7 nm (15 kV)*1、0.6 nm*2 3.0 nm (5 kV、WD: 10 mm、5 nA)*1 *1: Gap method、*2:Edge method |
| 倍率 | ×25 ～ ×1,000,000 |
| 加速電壓 | 0.01 ～ 30 kV |
| 探針電流 | 數(shù) pA ～ 500 nA |
| 檢測(cè)器（標(biāo)配） | 高位檢測(cè)器(UED)、低位檢測(cè)器(LED) |
| 電子槍 | 浸沒(méi)式肖特基Plus場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
| 光闌角控制鏡 | 內(nèi)置 |
| 物鏡 | 超級(jí)混合式物鏡/SHL |
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、自動(dòng)調(diào)節(jié)亮度、自動(dòng)調(diào)節(jié)襯度 |
| 大景深模式(LDF) | 內(nèi)置 |
| 樣品臺(tái) | 全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái) |
| 樣品移動(dòng) | X:70mm Y:50mm Z:2 ～ 41mm 傾斜軸:-5 ～ 70° 旋轉(zhuǎn):360° |
| 馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
| 樣品交換室 | 直徑: 100mm 高度: 40mm |
| 抽真空系統(tǒng) | SIP、TMP、RP |
關(guān)鍵詞：
