高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。
通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心”。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實現(xiàn)實時立體成像的“實時立體觀察功能”*1、以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”*1它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1：自選
特點(diǎn)：
? 低加速電壓觀察時分辨率更高，可更好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
? 全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)實現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
? 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2自動功能縮短*3了大約11秒
? 具有在低真空時可以非常好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測器)”*4
? 具有實現(xiàn)了實時立體成像的“實時立體觀察功能”*4
*2：和日立SEM S-3400N相比
*3：根據(jù)觀察條件的不同，時間會有變動
*4：自選
規(guī)格：
| 項目 | 描述 | |
|---|---|---|
| 二次電子分辨率 | 3.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm高真空模式) 7.0 nm(加速電壓=3 kV，WD=5 mm高真空模式) | |
| 背散射電子分辨率 | 4.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm低真空模式) 10.0 nm(加速電壓=5 kV，WD=5 mm高真空模式) | |
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率＊5） 7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率＊6） | |
| 加速電壓 | 0.3～30kV | |
| 可變壓力范圍 | 6～650Pa | |
| 樣品尺寸 | 直徑 200 mm | |
| 樣品臺 | X | 0～100mm |
| Y | 0～50mm | |
| Z | 5～65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20～90° | |
| 可觀察區(qū)域 | 直徑 130 mm(旋轉(zhuǎn)并用) | |
| 樣品高度 | 80mm（WD＝10mm） | |
| 馬達(dá)臺 | 5軸標(biāo)配 | |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對中的鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可動光闌 | |
| 探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 | |
| EDX分析 WD | 10 mm(取出角35°) | |
| 圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows®7(有更改，恕不另行通知) |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) 小屏模式(800 × 600 像素) 雙圖像顯示(800 × 600 像素) 四屏幕顯示(640 × 480像素) 信號混合模式 | |
| 排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動排氣 |
| 渦輪分子泵 | 261升/秒 × 1 | |
| 機(jī)械泵 | 135 L/min.(162 L/min.，60Hz) × 1 | |
- *5：
- 以127 mm × 95 mm(圖像尺寸4" × 5")的顯示尺寸規(guī)定倍率
- *6：
- 以345 mm × 259 mm(像素1,280 × 960)的顯示尺寸規(guī)定倍率
