光干涉透射法檢測元件厚度差的原理：
在激光干涉儀進(jìn)行透射測量時(shí)，激光光源發(fā)出的單色光,垂直向下經(jīng)過被檢元件上、下兩表面被標(biāo)準(zhǔn)反射鏡反射后會(huì)形成干涉條紋，每個(gè)點(diǎn)上所生的干涉條紋取決于該點(diǎn)上兩相干的光的光程差。當(dāng)光程差為nλ+0.5λ時(shí)，顯示為暗條紋；當(dāng)光程差為nλ+λ時(shí)，顯示為亮條紋；
所以，當(dāng)被檢元件的兩個(gè)面不平行，存在楔角時(shí)，沿楔角方向，元件的厚度逐漸增大，相應(yīng)的光程差也逐漸變大，沿楔角方向就會(huì)產(chǎn)生間隔分布亮暗條紋。楔角越大，條紋越密集。

檢測指標(biāo)的簡單說明：
PV值在數(shù)學(xué)上的定義是峰谷值( Peak to Valley),即值和最小值的差值。單位是λ(波長)。對應(yīng)到干涉儀透射檢測上，就是被檢元件的厚度差。

RMS值在數(shù)學(xué)上的定義是均方根值(root-mean-square)，單位是λ(波長),這是一個(gè)統(tǒng)計(jì)值，RMS的大小反映了這些數(shù)據(jù)值的離散程度。對應(yīng)到干涉儀透射檢測上，RMS值越小表明被檢元件的厚度平滑性越好，高低起伏越少。

條紋根數(shù)是肉眼可見的被檢元件厚度差的直觀表現(xiàn)，與PV值成線性關(guān)系。條紋根數(shù)越少表明被檢元件的厚度差越小。

技術(shù)參數(shù)：

實(shí)物圖：