日立掃描電子顯微鏡S-3400N型具有新開發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng)，強大的自動化功能，操作更簡易。
一、日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的特點
1. S-3400N具有強大的自動功能，包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、
自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達臺，傾斜角度可達-20度~+90度，樣品可達80mm。
5. 分析樣品倉可以同時安裝EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。
二、日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的技術(shù)指標(biāo)
| 項目 | 描述 | |
| SE分辨率 | 3.0nm (30kV)，高真空模式 10nm (3kV), 高真空模式 | |
| BSE分辨率 | 4.0nm (30kV)，低真空模式 | |
| 放大倍率 | x5 ~ x300,000 | |
| 加速電壓 | 0.3 ~ 30 kV | |
| 低真空范圍 | 6 ~ 270 Pa | |
| 樣品尺寸 | 直徑200mm | |
| 樣品臺 | I型 | II型 |
| X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 100mm |
| Y | 0 ~ 40mm | 0 ~ 50mm |
| Z | 5 ~ 35mm | 5 ~ 65mm |
| R | 360º | 360º |
| T | -20º~ +90º | -20º ~ +90º |
| 樣品高度 | 35mm (WD=10mm) | 80mm (WD=10mm) |
| 驅(qū)動類型 | 手動 | 五軸馬達驅(qū)動 |
| 燈絲 | 預(yù)對中鎢燈絲 | |
| 物鏡光欄 | 可移動式4孔物鏡光欄 | |
| 槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏 | |
| 檢測器 | 二次電子檢測器 | |
| 分析位置 | WD=10mm, TOA=35o | |
| 控制 | 鼠標(biāo)、鍵盤，手動旋鈕 | |
| 自動調(diào)校 | 自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸、自動聚焦消像散、自動亮度對比度 | |
