OLS5100激光共聚焦顯微鏡
更智能的工作流程，更快速的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高效實(shí)驗(yàn)的實(shí)用功能
具有出色精度和光學(xué)性能的LEXT™OLS5100激光掃描顯微鏡配備了讓系統(tǒng)更加易于使用的智能工具。其能夠快速高效完成亞微米級(jí)形貌和表面粗糙度的準(zhǔn)確測(cè)量任務(wù)，既簡(jiǎn)化了工作流程又能讓您獲得可信賴的高質(zhì)量數(shù)據(jù)。
二、OLS5100激光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、簡(jiǎn)化測(cè)量檢測(cè)流程
LEXTOLS5100顯微鏡的智能實(shí)驗(yàn)管理助手（SmartExperimentManager）通過(guò)自動(dòng)完成需要耗費(fèi)大量時(shí)間的任務(wù)幫助您簡(jiǎn)化實(shí)驗(yàn)工作流程。
?自動(dòng)創(chuàng)建您的實(shí)驗(yàn)計(jì)劃
?將數(shù)據(jù)自動(dòng)填充到實(shí)驗(yàn)計(jì)劃矩陣中，減少錯(cuò)誤輸入的機(jī)會(huì)
?一目了然的數(shù)據(jù)趨勢(shì)可視化工具
?需要使用實(shí)驗(yàn)流輔助應(yīng)用程序OLS51-S-ETA。
2、值得您信賴的數(shù)據(jù)
專為L(zhǎng)EXT顯微鏡設(shè)計(jì)的物鏡能夠提供高度準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，確保顯微鏡的測(cè)量精度。與智能物鏡選擇助手（SmartLensAdvisor）搭配使用，就可獲得可靠的高精度數(shù)據(jù)。
?針對(duì)405nm波長(zhǎng)優(yōu)化的LEXT光學(xué)器件可減少像差，從而能夠在整個(gè)視場(chǎng)獲取到樣品的真實(shí)形貌
?智能物鏡選擇助手（SmartLensAdvisor）還可幫助您選擇合適的物鏡進(jìn)行粗糙度測(cè)量。
3、按下按鈕即可獲得可靠數(shù)據(jù)
精心設(shè)計(jì)的軟件讓新手和經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶都能夠輕松使用顯微鏡。
?輕松獲得準(zhǔn)確數(shù)據(jù)-將樣品放在載物臺(tái)上按下開(kāi)始按鈕即可
?在客戶的實(shí)驗(yàn)環(huán)境下也能提供有保證的測(cè)試結(jié)果
三、體驗(yàn)激光顯微鏡的優(yōu)勢(shì)
1、亞微米3D觀察/測(cè)量、觀察納米范圍的臺(tái)階，并可測(cè)量亞微米級(jí)別的高度差。
2、ISO25178-符合標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度測(cè)量、可測(cè)量從線到面的表面粗糙度。
3、非接觸、無(wú)損且快速、無(wú)需制備樣品-只需將樣品放在載物臺(tái)上即可測(cè)量。
四、產(chǎn)品配置：
1、LEXTOLS5100顯微鏡配備彩色成像和激光共焦兩套光學(xué)系統(tǒng)，能夠同時(shí)獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
2、彩色光學(xué)系統(tǒng)、彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用白光LED光源和CMOS成像傳感器獲取彩色信息。
3、3D形貌信息和高分辨率圖像、激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405nm激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲取共聚焦圖像。淺焦深特性使其能用于測(cè)量樣品的表面不規(guī)則性。
4、用短波長(zhǎng)激光光源的激光顯微鏡相比采用可見(jiàn)光（峰值550nm）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。OLS5100顯微鏡的405nm激光光源能夠獲得出色的橫向分辨率。
主機(jī)
型號(hào) | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | |
總倍率 | 54x–17,280x | ||||
視場(chǎng) | 16 µm–5,120 µm | ||||
測(cè)量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 | |||
光接收元件 | 激光：光電倍增管（2通道） | ||||
高度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.5 nm | |||
動(dòng)態(tài)范圍 | 16位 | ||||
重復(fù)性σn -1*1 *2 *5 | 5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm | ||||
準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 0.15 + L / 100μm（L：測(cè)量長(zhǎng)度[μm]） | ||||
拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長(zhǎng)度[μm]) | ||||
測(cè)量噪聲（Sq噪聲）*1 *4 *5 | 1 nm（典型值） | ||||
寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 1 nm | |||
重復(fù)性3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0.45 µm, 10X: 0.1 µm, 20X: 0.03 µm, 50X: 0.012 µm, 100X: 0.012 µm | ||||
準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 測(cè)量值+/- 1.5% | ||||
拼接圖像準(zhǔn)確度*1 *3 *5 | 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接長(zhǎng)度[mm]） | ||||
單次測(cè)量時(shí)*大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量 | 4096 × 4096像素 | ||||
*大測(cè)量點(diǎn)數(shù)量 | 3600萬(wàn)像素 | ||||
XY載物臺(tái)配置 | 長(zhǎng)度測(cè)量模塊 | • | 不適用 | 不適用 | • |
工作范圍 | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng) | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動(dòng) | 300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動(dòng) | 100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動(dòng) | |
激光光源 | 波長(zhǎng) | 405 nm | |||
*大輸出 | 0.95 mW | ||||
激光等級(jí) | 2級(jí)（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014） | ||||
彩色光源 | 白光LED | ||||
電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | |
質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約 31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約 43 kg |
控制箱 | 約 12 kg | ||||
*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供保證（溫度：20?C±1?C，濕度：50％±10%），如ISO554（1976）、JIS Z-8703（1983）所規(guī)定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物鏡測(cè)量時(shí)倍率20x或更高。
*3 在使用專用LEXT物鏡測(cè)量時(shí)。
*4使用MPLAPON100XLEXT物鏡測(cè)量時(shí)的典型值。
*5 基于奧林巴斯認(rèn)證系統(tǒng)下的保證。
