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德國Sentech 集成等離子刻蝕和沉積的多腔系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市科時達電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/6/16 20:46:44
  • 訪問次數(shù)292
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深圳市科時達電子科技有限公司創(chuàng)建于2011年,經(jīng)過十年的發(fā)展,已經(jīng)成長為一家專注于電子材料、半導體儀器設備、醫(yī)療設備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務涉及了研發(fā)銷售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設備研發(fā)組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等??萍紕?chuàng)新是科時達公司的核心競爭力。我們擁有一支高度專業(yè)化的技術(shù)研發(fā)和管理團隊,建立了國內(nèi)的實驗室和光電研究中心,與多家科研機構(gòu)與大專院校開展“產(chǎn)、學、研”合作,成功開發(fā)出一系列具有高科技含量的市場產(chǎn)品,公司產(chǎn)品通國內(nèi)科研機構(gòu)的產(chǎn)品認證。同時,公司擁有電子信息領(lǐng)域相對完備的科技創(chuàng)新體系,在電子裝備、醫(yī)療設備、產(chǎn)業(yè)基礎、網(wǎng)絡安全等領(lǐng)域占據(jù)技術(shù)主導地位,肩負著支撐科技自立自強、推進國內(nèi)科技現(xiàn)代化、加快數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展、服務社會民生的重要職責。聚焦“三大定位”主責,科時達公司按照“做優(yōu)電子裝備、做大儀器設備、做精產(chǎn)業(yè)基礎、做強研發(fā)銷售”的總體布局,持續(xù)優(yōu)化核心業(yè)務體系,推動企業(yè)在科技現(xiàn)代化建設、現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設的核心關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點上“布點”,在產(chǎn)業(yè)鏈價值鏈創(chuàng)新鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)上“成線”,在關(guān)系國家、國民經(jīng)濟命脈和國計民生關(guān)鍵領(lǐng)域上“控面”。做強電子裝備,重點發(fā)展利用聲、光、電磁信號進行信息感知、傳輸、運用等的系統(tǒng)級裝備和產(chǎn)品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實在高??蒲蓄I(lǐng)域和高科枝企業(yè)的提供地位。做大儀器設備,重點發(fā)展半導體儀器基礎設施和醫(yī)療設備應用與整體解決方案,全面支撐基于網(wǎng)絡信息體系的聯(lián)合和全域能力提升、國家治理能力提升和數(shù)字化發(fā)展。做精產(chǎn)業(yè)基礎,重點打造形成電子基礎產(chǎn)品科研和生產(chǎn)的基礎支撐能力,以夯實產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈自主可控能力為根本目標,推動以“科時達基因”為核心的銷售集群式發(fā)展。做強研發(fā)銷售,致力于電子產(chǎn)品的研發(fā)??茣r達公司是一家,多年來公司研發(fā)團隊致力于電子材料、半導體儀器和醫(yī)療設備的研發(fā)。同時企業(yè)還致力于將產(chǎn)品做好國內(nèi)外市場銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導向,以質(zhì)量求生存,科時達公司以超凡的品質(zhì)和優(yōu)良的服務,獲得國內(nèi)外市場的一致認可;公司營銷網(wǎng)絡覆蓋,產(chǎn)品世界各地,目前已經(jīng)成為國內(nèi)電子科技行業(yè)中重要的生產(chǎn)制造基地。
德國Sentech集成等離子刻蝕和沉積的多腔系統(tǒng)研發(fā)三到六個端口傳送腔室可用于集成ICP等離子刻蝕機、RIE刻蝕機、原子層沉積系統(tǒng)、PECVD和ICPECVD沉積設備,以滿足研發(fā)的要求
德國Sentech 集成等離子刻蝕和沉積的多腔系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

德國Sentech 集成等離子刻蝕和沉積的多腔系統(tǒng)



研發(fā)

三到六個端口傳送腔室可用于集成ICP等離子刻蝕機、RIE刻蝕機、原子層沉積系統(tǒng)、PECVD和ICPECVD沉積設備,以滿足研發(fā)的要求。樣品可以通過預真空室和/或真空片盒站加載。



SENTECH多腔系統(tǒng)包括等離子刻蝕和/或沉積腔體、傳送腔室、預真空室或片盒站。傳送腔室包括傳送機械手臂,可適用于三至六個端口。可以使用多達兩個片盒站來增加產(chǎn)量。傳送腔室可以配備多種選擇。



用于研發(fā)的SENTECH多腔系統(tǒng)通過圖形用戶界面控制軟件操作。強大的控制軟件可用于工業(yè)領(lǐng)域高產(chǎn)量的多腔系統(tǒng)。



高產(chǎn)量

等離子蝕刻和沉積腔體可以與多達兩個片盒站組合,用于到200 mm晶片的高產(chǎn)量工藝


關(guān)鍵詞:刻蝕機
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