Dimension Labs 提供的共聚焦顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器,以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面 3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面 3D 圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的 2D、3D 參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌 3D 測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
DL-CM-200共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。