lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L
高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，具有 ±1% SP 保證。
LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)高精度的流量測(cè)量。 它可抑制由于傳感器受熱而導(dǎo)致的老化劣化，甚至可以控制流量，即使是臭氧等高度可降解的氣體。
作為選項(xiàng)，高性能、數(shù)字質(zhì)量流量控制器可以處理液化氣、微流量 F.S.、寬范圍、表面間距和接頭名稱。
長(zhǎng)處
準(zhǔn)確度±1%SP
工作溫度 5~50°C
金屬密封件
清潔（保證顆粒）
環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器
RS-485 通信
選擇
微流 F.S.
兼容液化氣
寬
使用示例
半導(dǎo)體制造預(yù)處理
由于CVD（化學(xué)氣相沉積）ALD沉積設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用高活性氣體，因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器至關(guān)重要。
此外，前驅(qū)體在常溫常壓下含有大量液化氣體，因此具有耐熱性且不易液化的閥門結(jié)構(gòu)很重要。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可從液化氣選項(xiàng)中選擇，最高工作溫度為50°C（可選55°C）。
分析器
分析儀可能需要控制分鐘流速，但一般質(zhì)量流量控制器的最小F.S.為5 SCCM，無(wú)法控制分鐘流速。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低尺寸。 詳情請(qǐng)聯(lián)絡(luò)我們。
此外，高精度質(zhì)量流量控制器MC-3000L還標(biāo)配低死體積隔膜閥。
lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L
規(guī)格
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 低標(biāo)準(zhǔn) | 最高 F.S. | 密封 |
| 5~50°C | 50kPa | 300kPa | ±1%自保 | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | 金 |
* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過(guò)選項(xiàng)進(jìn)行更改。
