SKY® CDG025D 0.1 1000 托 / 毫巴
INFICON SKY CDG025D 電容隔片真空計系列的溫度補償型壓力計可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定性能。 數(shù)字電子元件用于改進真空計的性能，具有一鍵調零功能和設調整等易于操作的特性。 防腐蝕超純陶瓷傳感器提供的零點穩(wěn)定性，預期使用壽命長達數(shù)百萬次壓力循環(huán)（包括氣壓突變）。 的傳感器屏蔽（正在申請）用于保護真空計，使其免受加工污染。 堅固的機械設計和數(shù)字電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補償。 CDG025D 電容隔片真空計為開機后快速穩(wěn)定以及從大氣氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。
益處
- 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
- 電源接通后快速穩(wěn)定
- 暴露于大氣壓后快速恢復
- 防腐陶瓷傳感器
- 的長期信號穩(wěn)定性
- 溫度補償
- 傳感器防污染保護
- 一鍵調零功能
- 電源
典型應用
- 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產(chǎn)設備
- 數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設備
- 工業(yè)真空設備
- 常規(guī)壓力測量
