| 品牌 | 其他品牌 | 轉(zhuǎn)速范圍 | 100-5000rpm |
|---|---|---|---|
| 轉(zhuǎn)盤加熱控溫范圍 | 室溫-150℃ | 溫度分辨率 | 0.1℃ |
| 適用基片尺寸 | 標配可調(diào)卡爪載物盤（適用10mm-30mm方片或圓片可調(diào)） |
一、產(chǎn)品特性：
1、全新型載物盤控溫加熱；
2、勻膠同時工作HDPE高分子內(nèi)腔，PC透明蓋；
3、鈑金外殼可靠的隔熱設(shè)計，確保設(shè)備電機及元件安全安全電壓發(fā)熱部件，確保操作安全可靠；
4、可升級添加—路精確計量自動點膠功能；
二、加熱型勻膠機IC8000-S技術(shù)參數(shù)：
1、轉(zhuǎn)盤加熱控溫范圍：室溫~200℃
2、溫度分辨率：0.1℃
3、控溫精度：<±0.5℃（穩(wěn)定后控溫精度)
4、轉(zhuǎn)盤溫度均勻性：<±2％
5、轉(zhuǎn)速范圍：100-8000rpm
6、轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm
7、加速度可調(diào)范圍：100-5000rpm/s
8、單步旋涂時長：3000s
9、時間分辨率：0.1s
10、最多可編程100組100步程序，更多可擴展
11、標配可調(diào)卡爪載物盤（10-30mm方片或圓片可調(diào)），其他規(guī)格可定制
12、外型尺寸：264mm(W)*410mm(D)*280mm(H)
13、排廢接口:無
三、加熱型勻膠機IC5000-S技術(shù)參數(shù)：
1、轉(zhuǎn)盤加熱控溫范圍：室溫~150℃
2、溫度分辨率：0.1℃
3、控溫精度：<±0.5℃（穩(wěn)定后控溫精度)
4、轉(zhuǎn)盤溫度均勻性：<±2％
5、轉(zhuǎn)速范圍：100-5000rpm
6、轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm
7、加速度可調(diào)范圍：100-5000rpm/s
8、單步旋涂時長：3000s
9、時間分辨率：0.1s
10、最多可編程100組100步程序，更多可擴展
11、標配可調(diào)卡爪載物盤（10-30mm方片或圓片可調(diào)），其他規(guī)格可定制
12、外型尺寸：280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)
13、排廢接口:無
