P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

皮米級精度，高帶寬，用于掃描探針顯微鏡

P-313 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀

§ 用于AFM / SPM的高線性掃描儀

§ 分辨率高達(dá)20皮米，滯后小于1 納米

§ 閉環(huán)驅(qū)動概念帶來gao帶寬

§ 用于生物技術(shù)/納米技術(shù)的gao精度操 縱工具

§ 諧振頻率為4.0千赫茲（X、Y）、11 千 赫茲 （Z）

§ 行程1微米×1微米×0.6微米

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作

在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中，所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有小的質(zhì)量慣性和相同的設(shè)計，可實現(xiàn)快速、動 態(tài)和精密的運動。

規(guī)格 P-313PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀 單位

運動和定位

主動軸  X、Y、Z   

X、Y向上的行程（±250伏） 1 微米

Z向上的行程（±250伏） 0.6 微米

X、Y向上的分辨率 0.02 納米

Z向上的分辨率 0.14 納米

機械特性

X、Y向上的諧振頻率 4 千赫茲

Z向上的諧振頻率 11 千赫茲

運動方向上的推/拉力 ±10 牛

負(fù)載容量 ±10 牛

其他 工作溫度范圍 5 到 40 °C

質(zhì)量 80 克

電纜長度 1.5 米

電壓連接 Sub-D 24W7（公頭）

*電控 E-536

訂購信息

P-313.30L 高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開環(huán)，LEMO連接器

P-313.30D 高線性 PicoCube XYZ向納米定位器和掃描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，開環(huán)，Sub-D連接器