Hiden IG20 Ar/O2離子槍（Ion Gun），的離子槍，配合SIMS進行材料表面和深度的分析。
·靜態(tài)、動態(tài)SIMS
·俄歇電子譜
·離子束濺射
·表面科學研究
·光柵/ 深度分析
·具有100μm光斑直徑的、0.5～5 keV能量的強離子束
·高電流密度4.5 mA/cm2
·電子轟擊離子源具有氬和氧離子能力
·掃描線散射和離子束光柵的光學調(diào)整功能，用于深度分析
·離子槍的3°偏移量，用于中性粒子的排斥
·在光柵應(yīng)用中，束消隱裝置可以快速進行束的轉(zhuǎn)換
·差式泵源減少室內(nèi)氣體
·便于更換的雙燈絲
·掃描速度可低至64μs
·與SIM 和EQS 探針一起，可以直接進行光柵速率/區(qū)域控制
·能量范圍： 500eV ~ 5KeV
·電流： 800nA
·最小光斑尺寸： 50μm
·離子源壽命： ＞1000小時
·法蘭規(guī)格： 斜楔法蘭DN-35-CF
·氣源壓力： 0.1~0.5bar至一個大氣壓
IG20 Oxygen/Gas Gun (840 KB)
