高精度緊湊型
AU-XRT系列壓電旋轉(zhuǎn)臺是一款緊湊的高精度的。該系列旋轉(zhuǎn)臺采用軸承技術(shù)，使壓電旋轉(zhuǎn)平臺的徑向、軸向和傾斜方向上的旋轉(zhuǎn)誤差小。該系列由滑塊驅(qū)動和超聲波馬達(dá)兩種驅(qū)動方式，可進行連續(xù)旋轉(zhuǎn)，對角度無限制，并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制，使壓電旋轉(zhuǎn)臺擁有的分辨率和可重復(fù)性。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電旋轉(zhuǎn)臺按照使用馬達(dá)的不同可以分為兩類。
1）使用超聲波馬達(dá)驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)臺，AU-XRT-U系列。
AU-XRT-U系列是由超聲波驅(qū)動的緊湊的旋轉(zhuǎn)臺。其與空氣軸承旋轉(zhuǎn)臺擁有相媲美的旋轉(zhuǎn)精度和誤差但是卻擁有更小的體積和更低廉的價格。與其它壓電技術(shù)相比超聲波壓電電機擁有更長的使用壽命、更低的功耗并且無噪聲。并且集成了光學(xué)編碼器閉環(huán)控制，精度可達(dá)到0.0002°，速度可達(dá)到1080°/s。該系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40兩款旋轉(zhuǎn)臺。
Fig1 運動誤差測量
Fig2 AU-XRT-U
2)滑塊式驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺AU-XRT-A.
AU-XRT-A采用滑塊式壓電馬達(dá)驅(qū)動，利用軸承技術(shù)，即使在旋轉(zhuǎn)過程中也可以主動將徑向誤差運動補償，AU-XRT-A的徑向誤差小于500nm，可以與空氣軸承精度相媲美，并且體積緊湊價格低廉，并且可以提供真空和磁性應(yīng)用的產(chǎn)品。
Fig3. 運動誤差測量
Fig4.AU-XRT-A旋轉(zhuǎn)臺
主要特點
l 高精度（200μ°）
l 高速度（1080°/s）
l 可在真空10-6mbar和磁性（1.5T）條件使用
主要應(yīng)用
l 微型CT掃描儀
l 衍射系統(tǒng)
l 電子顯微鏡
l 同步加速器
l 計量學(xué)
產(chǎn)品參數(shù)：
AU-XRT-U30 | AU-XRT-U40 | AU-XRT-A | |
Drive principle: | ultrasonic piezo motor | stick-slip | |
Radial error motion: | < ="" 5="" µm="" (-sb)="" or="">< 1="" µm=""> | down to 500 nm | |
Axial error motion: | < ="" 3="" µm="" (-sb)="" or="">< 0.5="" µm=""> | < ="" 1=""> | |
Tilt (wobble): | < ="" 50="" µrad=""> | < ="" 100=""> | |
Load capacity: | < ="" 1=""> | ≤ 1 N (100 g) | |
Aperture: | 7mm | 10 mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor | |
Driving torque: | 14 Nmm | 20 Nmm | |
Holding torque: | 7 Nmm | 10 Nmm | |
Speed: | from 8 m°/s up to 3 rev/s | ± 2 rpm | |
Resolution: | 6.25 m° (-S) | 6.25 m° (-S) or 200 µ° (-P) | 6.25 m° (-S) |
