超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F是日本電子株式會社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為一體的熱場發(fā)射掃描電鏡，它幾乎集成了當(dāng)今掃描電鏡的全部前沿技術(shù)，200nA的大電流在保證高分辨率的同時，得到高速樣品分析結(jié)果，空間分辨率，對導(dǎo)電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動化程度高，操作直觀方便，可以稱得上是一款高檔次的場發(fā)射掃描電鏡。
超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F主要特點
1.主動式減震器
2.磁懸浮分子泵系統(tǒng)，無需UPS保護
3.標(biāo)配的五軸馬達驅(qū)動全對中樣品臺
4.全自動樣品更換氣鎖
5.全自動樣品監(jiān)控系統(tǒng)
6.全自動物鏡光闌
7.多通道顯示系統(tǒng)
8.減速系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置
9.能量過濾器標(biāo)準(zhǔn)配置
10.可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭
11.可以選配掃描投射探頭（STEM）
高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7600F技術(shù)參數(shù)
| SEI 分辨率 | 1.5 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV） | ||||||||||||||||||||
| 放大倍數(shù) | 25 到 1,000,000x | ||||||||||||||||||||
| 加速電壓 | 0.1 到 30 kV | ||||||||||||||||||||
| 束流 | 1 pA 到 200 nA（15 kV時） | ||||||||||||||||||||
| 光闌角控制鏡 | 內(nèi)置 | ||||||||||||||||||||
| 探測器 | 上方和下方探測器 | ||||||||||||||||||||
| 能量過濾器 | 新 γ過濾器 | ||||||||||||||||||||
| 柔和光束 | 內(nèi)置 | ||||||||||||||||||||
| 數(shù)字圖像 | 1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840 | ||||||||||||||||||||
| 樣品交換室 | 單步加載/卸載 | ||||||||||||||||||||
| 樣品臺 | 全對中，5軸馬達驅(qū)動 | ||||||||||||||||||||
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| 真空系統(tǒng) | 2 SIPs，磁懸浮軸承 TMP、RP | ||||||||||||||||||||
| 節(jié)能設(shè)計 | 正常運行：1.2 kVA | ||||||||||||||||||||
