主要特點：
TriglavTM——新開發(fā)的超高分辨電子光學(xué)鏡筒并配備TriLensTM物鏡及的探測系統(tǒng)
- 超高分辨率物鏡（60度浸沒式物鏡），全新的用于高分辨率分析工作的無漏磁分析物鏡，
- 重新設(shè)計用于超大視場觀察的中間鏡。
- 的電子束無交叉模式與超高分辨率物鏡相結(jié)合，獲得了的成像性能
- 傳統(tǒng)的TESCAN大視野光路設(shè)計提供各種工作和顯示模式
- 全新的EquiPower™技術(shù)進(jìn)一步提高電子束的穩(wěn)定性
- 新的肖特基場發(fā)射電子槍能使電子束流高達(dá)400nA并能實現(xiàn)電子束能量的快速改變
- 通過擴展樣品室和專用支架能達(dá)到12”晶圓的SEM觀察
- 的TriBETM技術(shù)具有三個BSE探測器，可以選擇不同角度的信號進(jìn)行采集。
- 位于鏡筒內(nèi)部的Mid-Ange BSE和In-Beam LE-BSE探測器，
- 用于檢測中等角度及軸向的高角背散射電子，而樣品室的BSE探測器用于探測大角度范圍的背散射電子。
- 并且這三個探測器能探測到低于200eV的低能背散射信號，綜合在一起，他們可以提供各種不同襯度的圖像
- 的TriSETM技術(shù)具有三個SE探測器，對所有工作模式下采集二次電子信號都進(jìn)行了優(yōu)化。
- 位于鏡筒內(nèi)部的In-Beam SE探測器能在短工作距離下采集二次電子。
- 用于電子束減速模式下的SE(BDM)探測器用于超高分辨成像。In-Chamber SE探測器能提供的形貌襯度
- 電子束減速技術(shù)(BDT)能在低至50eV的低電壓下，也仍具有出色的分辨率（選配）
- 的電子束實時追蹤技術(shù)可對電子束實現(xiàn)實時優(yōu)化
- 擴展的低真空模式樣品室氣壓能達(dá)到500Pa，可用于不導(dǎo)電樣品的成像
