產(chǎn)品介紹
CNI v3.0是桌面壓印工具，易于復(fù)制微米級結(jié)構(gòu)，可用的腔室可支持多到100毫米晶圓或200毫米晶圓。CNI是一種用于壓印和熱壓花的桌面尺寸工具。它允許微結(jié)構(gòu)從母版復(fù)制到基底。CNI工具可以執(zhí)行熱復(fù)制和紫外線復(fù)制。CNI工具是壓印的良好起點(diǎn)，但它也支持成熟和的開發(fā)工作。CNI工具操作簡單，功能強(qiáng)大，便于非標(biāo)準(zhǔn)流程和新實(shí)驗(yàn)。
性能特點(diǎn)
- 臺式壓印工具
- UV NIL@365 nm（或405 nm–自定義選項）
- 壓印壓力從0.3bar到11bar
- 真空壓?。?mbar）
- 堅固且易于使用
- 手動裝載和卸載印章和基板
- 自動過程控制
- 易于操作的軟件界面
技術(shù)參數(shù)
- 產(chǎn)地：丹麥
- 壓力：壓印壓力為0.3-11bar過壓
- 溫度：
- 200ºC，可控制+/-1ºC
- 250ºC，帶高溫選項
- 紫外線照射:波長為365和/或405 nm的紫外光，在120 mm的腔室中光功率為12 W，在210 mm的腔室約為100 mW/cm2或57 W，約為165 mW/cm2。
- 真空：壓印室可以抽空至約1mbar的壓力
- 是否進(jìn)口：是
- 應(yīng)用：廣泛
- 封裝：廠家制定
- 性能：良好
- 可靠性：高
產(chǎn)品參數(shù)
