產(chǎn)品介紹
精確的平行運(yùn)動(dòng)
Max.200µm的運(yùn)動(dòng)范圍
無(wú)機(jī)械間隙
容易與其他壓電系統(tǒng)結(jié)合
精密銷孔，可精確調(diào)節(jié)
高動(dòng)態(tài)范圍
可用于光纖定位、二維掃描系統(tǒng)、光束對(duì)準(zhǔn)、半導(dǎo)體、微操作
平行四邊形構(gòu)造的固態(tài)鉸鏈提供平行運(yùn)動(dòng)，而在x和y方向上沒(méi)有機(jī)械間隙。這些構(gòu)造原理得到非常高的分辨率，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了機(jī)械和機(jī)電定位系統(tǒng)的分辨率。壓電定位器PXY 200系列可以輕松安裝到其他定位系統(tǒng)，并可以配備克服磁滯效應(yīng)的測(cè)量設(shè)備（應(yīng)變儀）。動(dòng)態(tài)操作是可能的，PXY 200壓電元件非常適合解決掃描問(wèn)題。
產(chǎn)品參數(shù)
軸：X，Y
開(kāi)環(huán)運(yùn)動(dòng)（±10％）/閉環(huán)運(yùn)動(dòng)（±0.2％）：200 /-µm
每軸電容（±20％）：5.2µF
分辨率（開(kāi)/閉環(huán)）：0.4 /- nm
諧振頻率x / y（空載）：350/350 Hz
推/拉力
X軸：max. 130/13 N
Y軸：130/13 N
剛度x / y ：0.65 / 0.65 N /μm
電壓范圍：-20…130V
電纜長(zhǎng)度：1 m
溫度范圍：-20°C…+ 80°C
材料：鋁/不銹鋼
尺寸（長(zhǎng)x寬x高）：70x70x25 mm
中心孔徑（直徑）：28 mm
重量：350 g
