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單面拋光機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)DL-855/4P-
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/10/2 13:39:17
  • 訪問次數(shù)315
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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司成立于2021年,是經(jīng)深交所主板上市公司長盈精密投資控股的子公司,是一家專注于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與新能源產(chǎn)業(yè)的智能裝備制造企業(yè),公司主要專業(yè)從事全自動(dòng)高精密晶圓減薄機(jī)、高精密晶圓拋光機(jī)、全自動(dòng)高精密晶圓倒角機(jī)、晶圓研磨機(jī)、晶圓上蠟機(jī)等硬脆材料的加工裝備、以及高精度氣浮主軸部件系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。


產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)。包括但不限于太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍(lán)寶石片、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的加工,同時(shí),公司也提供技術(shù)支持和售后服務(wù),以滿足客戶的各種需求。


作為一家智能裝備制造企業(yè),深圳夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備注重技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量。公司擁有一支專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì),可以根據(jù)市場(chǎng)需求和客戶需求進(jìn)行定制化開發(fā)。同時(shí),公司也擁有生產(chǎn)設(shè)備和完善的品質(zhì)管理體系,確保每一臺(tái)設(shè)備都符合客戶的期望和要求。在未來的發(fā)展中,深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司將繼續(xù)致力于技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量提升,為客戶提供更優(yōu)質(zhì)、更可靠的智能裝備解決方案。

 

全自動(dòng)晶圓減薄機(jī)、晶圓研磨機(jī)、晶圓倒角機(jī)、CMP拋光機(jī)
單面拋光機(jī)是單面精密拋光設(shè)備,采用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和多種控制方法,拋光加工效率高,運(yùn)行穩(wěn)定。
單面拋光機(jī) 產(chǎn)品信息
設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 本設(shè)備為單面精密拋光設(shè)備,采用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和多種控制方法,拋光加工效率高,運(yùn)行穩(wěn)定。


◎ 整機(jī)采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),設(shè)備參數(shù)設(shè)置和操作簡單方便,系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性高。


◎ 主電機(jī)采用變頻調(diào)速控制,實(shí)現(xiàn)主機(jī)軟啟動(dòng)、軟停機(jī)降低設(shè)備運(yùn)行沖擊,減少工件損傷。


◎ 工件拋光壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實(shí)現(xiàn)壓力的閉環(huán)控制,保證的施壓精度與穩(wěn)定性。


◎ 上壓盤采用主動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,在確保產(chǎn)品撤光速率的前提下保證各工位拋光加工的統(tǒng)一性。


◎ 拋光盤與上壓盤都設(shè)置了冷卻水冷卻功能,在保證拋光液發(fā)揮效率的同時(shí)減少拋光盤面的變形。

性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-855/4P-CMP
主電源V三相 380
主電機(jī)功率KW15
主電機(jī)轉(zhuǎn)速RPM0~85
上盤驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)速RPM0~70
拋光盤尺寸mm855
加工尺寸2-8
工作工位4
工件盤尺寸
mmΦ305x15
單工位壓力Kg20~300
拋光液流速L/min15(可調(diào))
主盤溫度檢測(cè)±5
設(shè)備尺寸(W x D x H)mm1200x1650x2250
設(shè)備重量Kg約2450
15700106413
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