主機(jī) 描述
系統(tǒng)配置 精密3軸CNC系統(tǒng)，“T” 型布局
加工范圍 750mm×750mm
腔體結(jié)構(gòu) 主真空腔體（Φ1700mm×1450mm,304）,副真空腔體（304）
法拉第掃描系統(tǒng) 法拉第杯電流收集器，電流放大器（1000倍），掃描軟件系統(tǒng)（帶補(bǔ)償分析和校正）
計(jì)算機(jī)配置 Intel i5 2.4GHz處理器，64-bit 位Windows 7專業(yè)版，16GB內(nèi)存，10/100/1000以太網(wǎng)
接口，DVD RW光驅(qū)，50GB硬盤，USB接口
控制系統(tǒng) ACS Cmba-3C04N0N800WNNNYN
編程分辨率 0.1μm
性能展示 可加工平面、球面、柱面、非球面、離軸非球面、自由曲面等原件，加工材料包括
金屬、 玻璃、晶體、紅外材料、寶石等
加工精度rms＜1nm
離子源 指標(biāo)
類型 射頻離子源
3石墨柵網(wǎng)（focusing girds with R=150mm）
柵網(wǎng)孔直徑d=1mm,柵網(wǎng)孔區(qū)域直徑D=38mm(resulting ion beam profile FWHM 25mm)
中和器 鎢絲陰極結(jié)構(gòu)中和器，0.3mm鎢絲
2個(gè)高壓電源結(jié)構(gòu)，BNC型號(hào)
離子源束電壓直流電源0-2000V
電源 離子源加速電壓直流電源0-1000V
中和器直流電源0-30A
射頻電源0-300V
線性軸 X Z Y
行程 800mm 150mm 800mm
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) 直流直線電機(jī) 直流直線電機(jī) 直流直線電機(jī)
反饋類型 Renishaw真空光柵尺反饋 Renishaw真空光柵尺反饋 Renishaw真空光柵尺反饋
反饋分辨率 0.1μm 0.1μm 0.1μm
進(jìn)給速度 運(yùn)動(dòng)速度＞100mm/s, 運(yùn)動(dòng)速度＞100mm/s, 運(yùn)動(dòng)速度＞100mm/s,
加速度＞2m/8’ 2 加速度＞2m/8’2 加速度＞2m/8’ 2
直線度 20μm over full travel 20μm over full travel 20μm over full travel
其他 三軸聯(lián)動(dòng)，重復(fù)定位精度＜5μm，真空散熱保證，Z軸負(fù)載磁力配重，支持CNC
Gcode代碼控制
使用環(huán)境 氣體要求 供電要求 占地空間
基本光學(xué)加工環(huán)境， 380VAC; 1phase; 3.50m L x 4.0m D x 3.0 m
溫控±5℃以內(nèi) 6 to 8 bar 50/60hz Approx.5.500KG
設(shè)備特點(diǎn)
● 加徑：750mm×750mm
● 加工材料：玻璃、金屬、硅、晶體（YAG、鈮酸鋰等）、鍺等紅外材料、寶石等
● 加工精度：面形rms＜1nm（與檢測(cè)精度有關(guān)）
● 非接觸加工方式，支持平面、球面、柱面、非球面及自由曲面加工
● 去除穩(wěn)定，確定性加工程度高，亞納米級(jí)加工精度
● 不產(chǎn)生亞表面損傷，可修正中低頻誤差，加工過程中基本不產(chǎn)生中高頻誤差
● 的離子束過程誤差補(bǔ)償技術(shù)
● 離子源穩(wěn)定性＞95%，連續(xù)工作運(yùn)行時(shí)間＞300h (不用開腔體維護(hù))
● 高去除效率，去除率：0-0.2mm3/min范圍可調(diào)
● 法拉第監(jiān)測(cè)和補(bǔ)償，監(jiān)測(cè)離子束流特征及坐標(biāo)掃描補(bǔ)償
● 設(shè)備維護(hù)成本低，耗材少的特點(diǎn)
