D07-19BM型質(zhì)量流量計
儀器簡介:
質(zhì)量流量計(MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
標(biāo) 準(zhǔn):
氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為:
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K)
標(biāo)準(zhǔn)壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,50mA
輸出電壓檢測…………0~+5.00V
技術(shù)參數(shù):
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~30SLM | |
控制范圍 | 2~100%F.S. | |
準(zhǔn)確度 | ≤10SLM | ±1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. | |
線性 | ≤10SLM | ±0.5~1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | |
響應(yīng)時間 | ≤4sec | |
工作溫度范圍 | 5~ | |
工作壓差 | <0.02MPa | |
耐壓 | 10MPa | |
漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |
接頭選擇 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/8”、1/ | |
電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |
抗電磁干擾 | CE | |
重量 | 0.7Kg |