D07-11C 質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)(MASS FLOW CONTROLLER)
技術(shù)參數(shù):
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~30SLM | |
控制范圍 | 2~100%F.S. | |
閥類型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) | |
準(zhǔn)確度 | ≤10SLM | ±1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. | |
線性 | ≤10SLM | ±0.5~1%F.S. |
>10SLM | ±2%F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤4sec | |
工作溫度范圍 | 5~ | |
工作壓差 | ≤10SLM | 0.2~0.8MPa |
>10SLM | 0.2~0.6MPa | |
耐壓 | 10MPa | |
漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |
接頭選擇 | VCR | 1/4” |
Swagelok | 1/4”、1/8”或φ3、φ6mm | |
電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |
抗電磁干擾 | CE | |
重量 | |