3810s、3810s質(zhì)量流量計(jì)、3810s、3810s質(zhì)量流量計(jì)、、
流量范圍N2換算 | F.S.10SCCM-2SLM;F.S.3-50SLM |
精度 | ±2.0%F.S.以內(nèi);±5%F.S.以內(nèi) |
再現(xiàn)性 | ±0.5%F.S.以內(nèi) |
耐壓 | 980kPa |
使用溫度 | 5℃-45℃(精度保證:15-35℃) |
連接氣體部分材料 | 外殼:SUS303,PTFE |
封條:Viton | |
接頭 | 標(biāo)準(zhǔn):1/4SWL |
流量輸出信號(hào) | 0-5VDC |
需求電源供給 | +15VDC(±5%)40mA,-15VDC(±5%)10mA |
重量 | 250g;350g |
訂購范例 | 3810S | 1/4 | N2 | 100SCCM | 3810S-1/4SWL-N2-100SCCM |
型號(hào) | 3810S | | 3810S | ||
連接方式 | | 1/4 | | 標(biāo)準(zhǔn):1/4:Rc1/4 | |
介質(zhì) | | N2 | | N2,Ar,Air,CO2,He,O2,H2(或其他氣體) | |
流量 | | 100SCCM | 見表格 |
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:李蓬山, 傳真