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通用性流量計(jì)產(chǎn)品

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京堀場(chǎng)匯博隆精密儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)S49 32/MT
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2018/5/14 9:00:00
  • 訪問(wèn)次數(shù)2425
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  北京堀場(chǎng)匯博隆精密儀器有限公司是一支由中方經(jīng)營(yíng)管理,中日雙方共同協(xié)作的化團(tuán)隊(duì),是由*熱式質(zhì)量流量控制器(MFC)制造商——HORIBA STEC與中國(guó)熱式質(zhì)量流量控制器(MFC)制造商——北京匯博隆儀器有限公司共同出資成立,是以研發(fā)、生產(chǎn)、銷售熱式質(zhì)量流量控制器為主業(yè)的*。

  公司經(jīng)營(yíng)層和整個(gè)化團(tuán)隊(duì)堅(jiān)持"群策群力,持續(xù)發(fā)展,立足國(guó)內(nèi),走向世界"的企業(yè)總體發(fā)展方向。 力循"中外結(jié)合,品質(zhì)為本"的經(jīng)營(yíng)理念,努力在人才、技術(shù)、生產(chǎn)、工藝、質(zhì)量、市場(chǎng)、服務(wù)等各個(gè)方面引入和完善現(xiàn)代企業(yè)經(jīng)營(yíng)管理機(jī)制,以適應(yīng)經(jīng)濟(jì)一體化的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng),為加速我國(guó)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展貢獻(xiàn)一份力量。

流量計(jì),流量控制器 氣體流量計(jì),質(zhì)量流量計(jì),氣體流量控制器,質(zhì)量流量控制器,氣體質(zhì)量流量控制器
專業(yè)質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器研發(fā)廠家-堀場(chǎng)匯博隆
產(chǎn)品適用于各種氣體,精度高,零漂小,無(wú)需矯正可任意角度安裝。
公司:
公司:www.horibametron.com
通用性流量計(jì)產(chǎn)品 產(chǎn)品信息
  • 特點(diǎn)及主要應(yīng)用領(lǐng)域

氣體質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))Mass gas flow controller(meter)縮寫(xiě)為MFC(MFM))是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))特點(diǎn):

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬,氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

☆主體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu),氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定可靠。

☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示,使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。

☆配合MT-60 系列流量積算儀,可對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行精確計(jì)量。

S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))主要應(yīng)用領(lǐng)域:

半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制;

分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制;

各種形式的真空鍍膜設(shè)備;

環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備;

化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測(cè)和控制;

特種材料表面處理裝置與燃燒控制;

混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。

2S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))型號(hào)

S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì)),S49為質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))產(chǎn)品,32/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計(jì)序列號(hào)。

質(zhì)量流量計(jì)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量精確測(cè)量計(jì)量;

質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))不但具有質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量計(jì)量功能,還具有自動(dòng)控制氣體的質(zhì)量流量功能。

型式批準(zhǔn)證書(shū):2011F215-11

執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

許可證編號(hào):京制01050063號(hào)

3.主要技術(shù)指標(biāo)

質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))流量出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。

質(zhì)量流量單位為:mL/min(毫升/分鐘);(SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

L/min (升/分鐘)。  (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn))

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為:溫度----273.15K(0℃);

            氣壓----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示滿量程值

表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))技術(shù)指標(biāo)

編號(hào)

項(xiàng)目

S49 32/MT

1

流量規(guī)格

(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min

(1,2,3,5,10)L/min

2

調(diào)節(jié)閥類型

電磁調(diào)節(jié)閥

3

調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)

常閉

4

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

5

線性

±1.5%F.S

6

重復(fù)精度

±0.2%F.S

7

響應(yīng)時(shí)間

8秒(T95)

8

工作壓差范圍

50~300kPa;   (100300kPa(10L/min)

9

耐壓

3MPa;           10MPa

10

工作環(huán)境溫度

(5~45)℃

11

材料

不銹鋼316L

12

標(biāo)準(zhǔn)密封材料

Viton®,    EPDM,  或其他由用戶

13

漏率

1×10-8Pa.m3/s

14

接頭

Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR?;蚱渌捎脩?/span>

15

輸入輸出信號(hào)

(0~+5.00)V (輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA)

16

供電電源

±15V(±5%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

17

外形尺寸mm

130(寬)×102(高)×28(厚) 

18

重量kg

0.8

 

  • 工作原理

圖一 熱式質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))的工作原理

    質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))由質(zhì)量流量傳感器,分流器通道,流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。

本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成,即熱分布式流量計(jì)(Thermal Profile Flowmeter)。

采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較,用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門(mén),通過(guò)閉環(huán),去控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流,控制輸出的流量檢測(cè)電壓與流過(guò)通道的流量成比例。

與之配套使用的MT-50 系列流量顯示儀備有±15V直流電源,3 位半數(shù)字電壓表,設(shè)定電位器,外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān),調(diào)零等。為質(zhì)量流量計(jì)或控制器提供工作電源,設(shè)定控制和顯示等功能??刂破鞯脑O(shè)定輸入、流量輸出信號(hào)均為電壓形式,量程范圍為0~+5V。質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))與MT-50 流量顯示儀連接后的工作原理如圖1 所示。

控制器一般與MT-50,MT-51 或與之相兼容的流量顯示儀連接。

如與MT-51 數(shù)字式流量顯示儀連接,則構(gòu)成數(shù)字式流量顯示控制。該數(shù)字式流量顯示儀提供RS-232C接口,或RS-485 接口,Modbus協(xié)議,無(wú)需附加A/D,D/A 轉(zhuǎn)換卡,而實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)電氣連接、以及與組態(tài)軟件的連接。

如S49 32/MT 流量控制器直接與計(jì)算機(jī)連接,則需要用戶自行提供電源和A/D,D/A 轉(zhuǎn)換卡等。

控制操作一般在流量顯示儀上進(jìn)行。當(dāng)設(shè)定與“內(nèi)”設(shè)相連時(shí),由流量顯示儀上的設(shè)定電位器控制流量。當(dāng)與“外”設(shè)相連時(shí),由用戶另外提供的外部(0~+5)V 電壓控制流量。

在流量顯示儀的顯示面板上設(shè)置有三位閥門(mén)控制開(kāi)關(guān),當(dāng)置“關(guān)閉”位時(shí),閥門(mén)關(guān)閉;當(dāng)置“清洗”位時(shí),閥門(mén)開(kāi)到zui大,以便氣路清洗,或臨時(shí)作為流量計(jì)使用;當(dāng)置于“閥控”時(shí),則按設(shè)定電位器的數(shù)值自動(dòng)控制流量。(參考流量顯示儀的使用說(shuō)明書(shū))

    注意:在“清洗”時(shí),實(shí)際氣流將超過(guò)滿量程若干倍,此時(shí)流量顯示值不準(zhǔn)確,還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的現(xiàn)象,這是由熱式質(zhì)量流量計(jì)的特性決定,屬于正常現(xiàn)象。對(duì)不希望出現(xiàn)大氣流“清洗”的場(chǎng)合,用戶應(yīng)自行限制。。

不*長(zhǎng)時(shí)間置“清洗”位,此時(shí)閥門(mén)開(kāi)度zui大,而利用流量控制器*做流量計(jì)或開(kāi)啟閥使用。因?yàn)榇藭r(shí)電磁閥、線路等將會(huì)流過(guò)很大的電流,因而加速其熱老化損壞。

5安裝和接線

5.1 S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))外形及安裝尺寸如圖二所示

圖二 S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))外形及安裝尺寸

注意:圖中標(biāo)明的高度,是未加電纜插頭的高度。

5.2 入口和出口氣路接頭

可以根據(jù)用戶的不同需求,選用兩種類型:

1. 雙卡套(Swagelok);a.Φ6mm; b.Φ3; c. 1/4″;d.或其他。

2. VCR. a. Φ1/4″;b. Φ3/8″.

連接方法如圖三,圖四所示:

圖三 雙卡套接頭的連接方法

 

圖四 VCR 接頭的連接方法

質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))與氣路的連接,可以根據(jù)不同的要求,選用不同的管件,如金屬管,塑料管等等。 S49 32/MT 系列質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器的缺省連接形式為雙卡套,接管尺寸為Φ6。

5.3 質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))的接線

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

圖五  DB15/F 孔型 插座接口定義圖

S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))的接線插頭,考慮到其兼容性,主要采用DB-15/F 孔型插座,其接線方法如圖五所示。

信號(hào)0V,電源地(0V)在流量控制器內(nèi)是連在一起的,其與0V(E0大電流,即閥0V線)在流量控制器內(nèi)并沒(méi)有連接。在直流電源處,±15V電源0V,+5號(hào)0V應(yīng)連在一起,并與流量控制來(lái)的“信號(hào)0V”,“電源地(0V)”,“0V(E0大電流)”三條線相連。

“大地(Earth)”是外殼接地線,其與閥流量計(jì)金屬底座是通過(guò)第8腳(孔型插座)在內(nèi)部連在一起的,其應(yīng)與控制電纜金屬屏蔽網(wǎng)連接,以實(shí)現(xiàn)屏蔽一體。應(yīng)在直流電源處采取有效屏蔽、隔離等措施,防止干擾信號(hào)串入流量計(jì)系統(tǒng)。

將“大地(Earth)”線與直流供電電源0V直接或通過(guò)大電容實(shí)現(xiàn)一點(diǎn)接地(應(yīng)避免存在的多處接地,防止接地回路形成),形成零、地等電位,也是有效抵抗干擾的方法之一。應(yīng)避免金屬外殼等由于安裝原因帶有較強(qiáng)的干擾源,防止可能形成的強(qiáng)的地電流回路,而燒毀流量控制器內(nèi)部線路?。?!應(yīng)掌握一點(diǎn)接地原則,采用絕緣、隔離等方法,防止接地回路形成。 

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