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PECVD設(shè)備

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更新時間：2018-05-16 15:49:39瀏覽次數(shù)：2034次

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青島育豪微電子設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品名稱：PECVD設(shè)備產(chǎn)品報價：面議

詳細介紹

設(shè)備主要特點

◆用工業(yè)微機對工藝時間,溫度,氣體流量,閥門動作,反應(yīng)室壓力實現(xiàn)全自動控制.
◆采用進口壓力控制系統(tǒng),閉環(huán)系統(tǒng),穩(wěn)定性高.
◆采用進口耐腐蝕不銹鋼管件,閥門,確保氣路氣密性.
◆具有完善的報警功能及安全互鎖裝置.
◆具有超高溫報警及欠溫報警,MFC報警,反應(yīng)室壓力報警,RF報警,高壓空氣壓力報警,N2壓力報警.水流報警等。

類型

◆工藝過程*不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量*控；有毒害尾氣定向收集、集中處理排放；更加安全、環(huán)保。
◆裝片數(shù)量： 250片/每爐管
◆凈化臺潔凈度：100級（10000級廠房）
◆自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用日本導(dǎo)電或同類品牌，可在達到±0.5℃的控制精度。
◆送取片方式：懸臂式推拉舟。我公司推拉系統(tǒng)采用光杠傳動系統(tǒng)，本系統(tǒng)比絲杠傳動系統(tǒng)運行更平穩(wěn)，避免了推拉舟長時間運行后由于絲杠變形引起的推拉舟的震動；防止突然斷電時，絲杠抱死，拖不出爐膛。

設(shè)備主要技術(shù)指標

◆ 溫度使用范圍：150～600℃

◆ 極限真空度：優(yōu)于1Pa

◆ 壓力調(diào)節(jié)范圍：13～300Pa 連續(xù)可調(diào)，閉環(huán)控制

◆ 射頻電源： 400KHz連續(xù)可調(diào)

◆ 溫區(qū)長度（150～400℃）：1000mm

◆ 溫區(qū)穩(wěn)定性（400℃）： ±2℃

◆ 溫區(qū)穩(wěn)定性（＜400℃）： ±3℃

◆ 溫度梯度： 0～30℃/1000mm可調(diào)

◆ 淀積速率： 30nm/min

◆ 深層折射率： 1.9～2.2

◆ zui大可控升溫速度：15℃/min