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利方達(香港)有限公司北京辦事處
參 考 價 | 面議 |
產品型號XT100(M)
品 牌
廠商性質其他
所 在 地北京市
聯(lián)系方式:劉建輝查看聯(lián)系方式
更新時間:2022-07-14 17:15:03瀏覽次數(shù):987次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線美國EXTORR公司 四極質譜殘余氣體分析儀(RGA)
特點及應用:
操作簡單
可靠,方便
在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應工藝過程中真空室內的氣體分壓強
優(yōu)化工藝過程參數(shù),提高鍍膜產品質量
對真空系統(tǒng)檢漏
在工藝中的效果
改善質量
提高流片量
減少停機時間
改進工藝
縮小工藝周期
降低成本
測量氣體范圍 XT100(M) XT200(M) XT300(M) | 1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu |
檢測類型 | 法拉第杯(FC)或電子倍增器(EM) |
靈敏度(A/mbar) | 5×10-4torr,法拉第杯,氮28, 10%峰高 |
分辨率 | 1 amu ,10%峰高 |
zui小可檢分壓強 | 10-11 torr或10-14 torr(電子倍增器),氮28,10%峰高 |
工作范圍 | 10-4 torr到超高真空 |
工作環(huán)境zui高溫度 | 40°C |
烘烤溫度 | 300°C(不包括CCU) |
通訊端口 | RS-232C,115,200 Baud |
軟件運行環(huán)境 | Windows® 2000或XP |
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