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行業(yè)產(chǎn)品

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利方達(dá)（香港）有限公司北京辦事處


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四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀RGA

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產(chǎn)品型號(hào)XT100（M）

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：劉建輝查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-07-14 17:15:03瀏覽次數(shù)：988次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：8條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：劉建輝 （區(qū)域經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

美國EXTORR公司 四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）

特點(diǎn)及應(yīng)用：

操作簡單

可靠，方便

在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

定性或定量分析監(jiān)測(cè)濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)

優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

對(duì)真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

改善質(zhì)量

提高流片量

減少停機(jī)時(shí)間

改進(jìn)工藝

縮小工藝周期

降低成本

詳細(xì)介紹

美國EXTORR公司四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）
特點(diǎn)及應(yīng)用：
•操作簡單
•可靠，方便
•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
•定性或定量分析監(jiān)測(cè)濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)
•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量
•對(duì)真空系統(tǒng)檢漏
在工藝中的效果
•改善質(zhì)量
•提高流片量
•減少停機(jī)時(shí)間
•改進(jìn)工藝
•縮小工藝周期
•降低成本
 
規(guī)格：

測(cè)量氣體范圍
XT100（M）
XT200（M）
XT300（M）
 
1到100 amu
1到200 amu
1到300 amu
檢測(cè)類型
法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM）
靈敏度（A/mbar）
5×10-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率
1 amu ，10%峰高
zui小可檢分壓強(qiáng)
10-11 torr或10-14 torr（電子倍增器），氮28，10%峰高
工作范圍
10-4 torr到超高真空
工作環(huán)境zui高溫度
40°C
烘烤溫度
300°C（不包括CCU）
通訊端口
RS-232C，115,200 Baud
軟件運(yùn)行環(huán)境
Windows® 2000或XP

關(guān)鍵詞：氣體分析儀
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