MM3A-EM探針站包括多達(dá)八個(gè)MM3A-EM微操作器，與我們的X和Y方向行程為30mm的遠(yuǎn)程子階段相結(jié)合。子階段可以選擇性地配備位置編碼器，可產(chǎn)生50nm的重復(fù)性。另一個(gè)選項(xiàng)是添加一個(gè)范圍為3 mm的Z軸。

整個(gè)平臺(tái)可以在短短幾分鐘內(nèi)安裝在SEM的載物臺(tái)上，也可以很容易地將其移除，以使顯微鏡恢復(fù)到以前的狀態(tài)。

MM3A-EM微操作器配備了低電流、低容量的測量能力，并與探測工具硬件和軟件套件兼容，包括帶電接觸測試儀和電子束感應(yīng)電流成像模塊等。

該平臺(tái)還可以安裝溫度高達(dá)450°C的加熱臺(tái)。其他定制可根據(jù)要求提供（e，g，集成LED照明）。

• 緊湊靈活

-易于安裝和拆卸，具有高度靈活性

-帶模塊化組件的即插即用系統(tǒng)

-大多數(shù)SEM/FIB儀器的接口解決方案

-快速設(shè)置

-大樣本的充足空間

-大工作范圍（30 mm x 30 mm子階段行程）

-開創(chuàng)性的布線技術(shù)

• 清晰簡單

-直觀的控制界面和軟件

-用戶友好且易于學(xué)習(xí)

-快速簡便的探針頭更換

-緊湊、獨(dú)立的電子設(shè)備

-使用多個(gè)操縱器輕松工作

• 堅(jiān)固穩(wěn)定

-好的穩(wěn)定性

-低漂移（1納米/分鐘）

-可靠運(yùn)行（一年耐久性試驗(yàn)）

-幾乎不受振動(dòng)影響

-手動(dòng)快速預(yù)定位

• 快速準(zhǔn)確

-高操作速度（高達(dá)10毫米/秒）

-亞納米分辨率（0.25納米）

-無齒隙或反向間隙

-廣泛的工作范圍

-一個(gè)驅(qū)動(dòng)器中的粗排量和細(xì)排量

• 總高度：31毫米
• 總寬度：180毫米
• max樣本尺寸：70 mm-70 mm，max高度10 mm
• 重量：~1200克

三軸微型操作器

A=左/右B=上/下C=進(jìn)/出

• 工作范圍：A=240°，B=240°，C=12mm
• 分辨率A:7 x 10–9 rad（0.5 nm）
• 分辨率B:7 x 10–9 rad（0.2 nm）
• 分辨率C:<0.05 nm
• 低漂移：1納米/分鐘

低容量、低電流測量

• 噪音：25 fA@1 Hz
• 絕緣泄漏電流：<50 fA/V
• 信號(hào)導(dǎo)體電阻：<5?
• max電壓：100 V
• max電流：100 mA

變電站

• 行程X和Y：28.5毫米
• 速度：highest 2 mm/s
• 分辨率：＜0.5 nm
• 重復(fù)性：50 nm（可選）
• 角度偏差：<1µrad
• 負(fù)載：500 g
• 可選Z驅(qū)動(dòng)范圍：3毫米
• Z提升能力：25 g
• 溫度范圍：273 K至353 K
• 特高壓版本：273 K至393 K
• min壓力：10-7毫巴
• 超高壓版本：2 x 10-10毫巴
• 變電站安裝：4 x 3.2 mm孔
• 樣品安裝：夾子或2 x M3孔

產(chǎn)地：德國

• 納米拋光
• 故障分析
• 低電流晶體管測試