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WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

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更新時間：2023-05-08 19:16:10瀏覽次數(shù)：241次

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晶圓形貌測量系統(tǒng)

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

一、產(chǎn)品簡介

　　WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)可以在一個測量系統(tǒng)中自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、微納三維形貌。使用光譜共焦技術(shù)測量晶圓厚度、TTV、BOW、 WARP等參數(shù)，同時生成Mapping圖；采用白光干涉測量技術(shù)對Wafer表面進(jìn)行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像，顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖，高效分析表面的2D、3D參數(shù)。

　　WD4000晶圓幾何形貌測量系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于Wafer制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

二、產(chǎn)品優(yōu)勢

1、非接觸厚度、三維維納形貌一體測量

◆ 集成厚度、測量模組和三維形貌測量模組，使用一臺機(jī)器便可完成厚度、TTV、BOW、 WARP及三維形貌的測量。

2、高精度厚度測量技術(shù)

◆ 采用高分辨率光譜共焦對射技術(shù)對Wafer進(jìn)行高效掃描。

◆ 帶多點傳感器孔和靜電放電涂層的鋼制真空吸盤，晶圓規(guī)格可支持至 12寸。

◆ 采用點地圖技術(shù)，可編程多點自動測量。

3、高精度三維形貌測量技術(shù)

◆ 采用光學(xué)白光干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和高精度3D重建算法，Z向分辨力可到0.1nm；

◆ 隔振設(shè)計極大降低地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，獲得的測量重復(fù)性。

◆ 機(jī)器視覺技術(shù)檢測圖像Mark點，虛擬夾具擺正樣品，可對多點形貌進(jìn)行自動化連續(xù)測量。

4、大行程高速龍門結(jié)構(gòu)平臺

◆ 大行程龍門結(jié)構(gòu)（400x400 x75mm），移動速度500mm/s。

◆ 高精度花崗巖基座和橫梁，整體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、可靠。

◆ 關(guān)鍵運動機(jī)構(gòu)采用高精度直線導(dǎo)軌導(dǎo)引、AC伺服直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動，搭配分辨率0.1μm的光柵系

統(tǒng)，保證設(shè)備的高精度、高效率。

5、操作簡單、輕松無憂

◆ 集成XYZ三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前準(zhǔn)備工作。

◆ 雙重防撞設(shè)計，避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。

◆ 電動物鏡切換讓觀察變得快速和簡單。

三、應(yīng)用場景

無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

晶圓厚度、翹曲度測量結(jié)果

　　通過非接觸測量，將晶圓上下面的三維形貌進(jìn)行重建，強(qiáng)大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護(hù)膜或圖案的晶片的完整性。

無圖晶圓粗糙度測量

多文件分析細(xì)磨片25次測量數(shù)據(jù)

細(xì)磨片25次測量數(shù)據(jù)Sa曲線圖

　　Wafer減薄工序中粗磨和細(xì)磨后的硅片表面3D圖像，用表面粗糙度Sa數(shù)值大小及多次測量數(shù)值的穩(wěn)定性來反饋加工質(zhì)量。在生產(chǎn)車間強(qiáng)噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片，細(xì)磨硅片粗糙度集中在5nm附近，以25次測量數(shù)據(jù)計算重復(fù)性為0.046987nm，測量穩(wěn)定性良好。