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小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4“ 石英管和真空法蘭，它是專為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片（Z大達(dá)3“）的退火而設(shè)計(jì)，采用10KW紅外燈管加熱Z快升溫速度為 50C/秒. 30 段溫度控制，精度為 +/-1C. 計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時(shí)控制爐子和顯示溫度曲線。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù):
爐體結(jié)構(gòu)	雙層莫來石鋼構(gòu)（不帶水冷或風(fēng)冷）內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
加熱元件	8 根紅外燈管 (D=10 L=300 T =200, mm）
加熱區(qū)	12" length with 4"X12"恒溫區(qū)（ +/-5oC ）
石英管和樣品架	石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length 3" 的樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上，石英材料一片3" AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。 AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+/- 5°C
真空法蘭	帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個(gè)高溫“O"型圈密封滑動(dòng)法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。
水冷	如果要求通冷卻水. 請(qǐng)確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20oC; 水壓 > 25 PSI 我們建議采用循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）. 警告: 這款 RTP 爐在1000oC ~ 1100oC下保溫時(shí)間不超過 600 秒，否則“ O"圈將被燒融
流量計(jì)	范圍： 16 - 160 ml/min
真空表	數(shù)字真空表，測(cè)量范圍：10mtorr~800 torr . 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
真空度	用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr . 用分子泵真空度可達(dá) 10^-4torr .
溫度控制	PID 自動(dòng)控制，可控硅 SCR
熱偶	進(jìn)口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下。
溫控儀	PID 自動(dòng)控制，30段程序帶過熱和斷偶保護(hù)功能熱偶: 進(jìn)口K type 自整定功能控溫精度: +/- 1°C RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據(jù)線需要另購(gòu)）溫控操作視頻：點(diǎn)擊查看
快升溫速度	室溫~800℃： 50 ^oC/sec ，800℃~1000℃： 10^oC/sec
新升溫曲線	直接升溫到1000℃；分階段升溫?cái)?shù)據(jù) 請(qǐng)點(diǎn)擊查看
快降溫速度	60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一個(gè)大氣壓下) 選擇: 為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐，如下圖:
溫度	高1100oC ，額定1000°C
電源	208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 9 KW Max. (> 60A 保險(xiǎn))
尺寸	760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)
重量	45 kg (100 lbs)
保修期	電器部分一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O"型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi)）
認(rèn)證	CE 認(rèn)證

標(biāo)準(zhǔn)裝箱單
商品編碼	名稱	數(shù)量		圖片
EQ-CVM-211	數(shù)字真空計(jì)： 10^-4 Torr	1
RT36-00	63A保險(xiǎn)	2
RT14-20	4A保險(xiǎn)	2
RTP-ACC-01	石英樣品架	1
AIN-Holder	樣品架上的AlN基片	1
KSL7-05	高溫手套, 耐 900 ^oC	1 pair
EQ-QZTube-RTP	石英管: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length	1
RTP-ACC-02	石英擋板	4pcs
	聚氨酯水管 O.D. 12mm I.D. 8mm	1
	高溫硅膠圈(6 個(gè)）	9
EQ-RTP-Halogen-light	紅外燈管	8
	水管接頭	2
	一對(duì)真空法蘭	1	N/A
EQ-KF-Clamp-D25	KF-D25 快接	2

高真空選配清單
為了獲得較高的真空，我們建議使用 KF25 適配器和不銹鋼真空管 (達(dá)50 mtorr),
名稱	數(shù)量	l圖片
真空泵, 兩級(jí)旋片Two Ste高速真空泵和兩級(jí)排氣系統(tǒng)和KF-D25 適配器(110V or 220V)	1
配KF-D25口的波紋管 (1m)	1
KF-D25 真空快接	1