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詳細(xì)介紹
Excel 661HM/HC Micro-Vu三坐標(biāo)影像測(cè)量?jī)x簡(jiǎn)介
使用嶄新的技術(shù)，提供高速度與精確度，建立出可靠以及可信賴的測(cè)量系統(tǒng)。
該系統(tǒng)包括InSpec測(cè)量軟體，可程式化的光學(xué)變焦，3X的數(shù)碼變焦，非線性平臺(tái)補(bǔ)償，非線性光學(xué)補(bǔ)償，*的LED光源系統(tǒng)以及溫度檢測(cè)儀。
InSpec測(cè)量軟體功能強(qiáng)大：使用滑鼠就能輕松編寫程式，專有的系統(tǒng)尋邊功能，*的光源控制及校正功能，與復(fù)合感測(cè)器結(jié)合，自動(dòng)校正，可清晰顯示測(cè)量資料及公差。
Excel 661HM/HC Micro-Vu三坐標(biāo)影像測(cè)量?jī)x技術(shù)參數(shù)
| Excel 661HM/HC | Excel 662HM/HC | Excel 661 UM/UC | Excel 662UM/UC | Excel 664 UM/UC | |
| 量測(cè)行程(mm) | 650x680x160 | 650x680x250 | 650x680x160 | 650x680x250 | 650x680x400 |
| 承載重量 | 100kg | ||||
| XY軸精度(μm) | 2.8+L/200 | 3.1+L/200 | 2.5+L/200 | 2.8+L/200 | 3.5+L/150 |
| Z軸精度(μm) | 2.8+L/100 | 3.3+L/100 | 2.5+L/100 | 3.0+L/100 | 3.8+L/100 |
| 解析度 | 0.4μm | 0.1μm | |||
| 基本倍率 | 1X(LWD)/2X(SWD) | ||||
| 光學(xué)變焦 | 6.5x | 12x | |||
| 數(shù)位變焦 | 3x | ||||
| 綜合倍率 | 20x-370x/40x-740x | 15x-540x/30x-1080x | |||
儀器配件
接觸式探針系統(tǒng)
1. 量測(cè)高度：利用量測(cè)頭可以量測(cè)高度的特性來量測(cè)工件表面的高度差；
2. 量測(cè)球體、柱體：利用量測(cè)頭的多方向點(diǎn)接觸可量測(cè)到影像量測(cè)儀量不到的位置；
3. 量測(cè)平面度：利用量測(cè)頭可以量測(cè)高度和速度快的特性來快速量測(cè)工件表面的平面度。
接觸式探針系統(tǒng)可以選購添加在Micro-Vu影像系統(tǒng)中，以構(gòu)建復(fù)合傳感器量測(cè)系統(tǒng)，輔助影像量測(cè)儀完成一些特殊尺寸的量測(cè)。利用探針接觸感應(yīng)來量測(cè)工件側(cè)面，底面以及平面的尺寸。
Micro-Vu 接觸式探針組包含了用來構(gòu)成垂直式和多測(cè)針式（星型）二種探針配置的組件。
垂直探針使用一支3mm（球徑）x20mm（長(zhǎng)度）測(cè)針搭配20mm（長(zhǎng)度）延長(zhǎng)桿和一個(gè)探針側(cè)頭。
多測(cè)針式探針使用四支3mm（球徑）x20mm（長(zhǎng)度）測(cè)針安裝在一個(gè)五向測(cè)針座上，五向測(cè)針座中心再組合一支30mm（長(zhǎng)度）延長(zhǎng)桿，然后再結(jié)合到探針側(cè)頭。
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