半導(dǎo)體行業(yè)18兆超純水系統(tǒng)初是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水，如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。

    半導(dǎo)體行業(yè)18兆超純水系統(tǒng)工藝流程

1: 預(yù)處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點
2: 預(yù)處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
3: 預(yù)處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
4: 預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)，電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
超純水系統(tǒng)反滲透(膜分離)法超純水制造技術(shù)
反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來，方向與滲透方向相反，可使用大于滲透壓的反滲透法進(jìn)行分離、提純和濃縮溶液。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。

反滲透法優(yōu)點

①不需加熱、沒有相變;
②能耗少;過程連續(xù)穩(wěn)定;
③設(shè)備體積小、操作簡單，適應(yīng)性強(qiáng);
④對環(huán)境不產(chǎn)生污染。
反滲透超純水系統(tǒng)根據(jù)不同的源水水質(zhì)采用不同的工藝。一般自來水經(jīng)一級反滲透系統(tǒng)處理后，產(chǎn)水電導(dǎo)率<10-20μS/cm，經(jīng)二級反滲透系統(tǒng)后產(chǎn)水電導(dǎo)率<5μS/cm甚至更低，在反滲透系統(tǒng)后輔以離子交換設(shè)備或EDI設(shè)備可以制備超純水，使電阻率高達(dá)18兆歐姆.厘米)。 反滲透膜老化或受污染后，產(chǎn)水質(zhì)量會下降。

超純水質(zhì)量

導(dǎo)電率：0.055 μS/cm
細(xì)菌含量：1 CFU/ml
TOC： 3－10 ppb*
除熱原
性能：大每分鐘1.5升

應(yīng)用領(lǐng)域

1、電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。

2、化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等用純水。

1. 單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝用純水。

2. 食品工業(yè)用水:飲用純凈水、礦泉水、資料、啤酒、乳業(yè)等。

3. 海水、苦咸水淡化：海島、艦船、高鹽堿地區(qū)生活用水改善

4. 樓宇、社區(qū)優(yōu)質(zhì)供水:星級賓館、機(jī)場、房產(chǎn)物業(yè)純水網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)等

5. 化工行業(yè)工藝用水：化工冷卻、化肥、化學(xué)藥劑制造

6. 工業(yè)產(chǎn)品制造用水：汽車、家電涂裝、涂料、油漆、精細(xì)加工清洗等

7. 電力行業(yè)鍋爐補(bǔ)給水:熱力、火力發(fā)電鍋爐、中、低壓鍋爐動力系統(tǒng) 精細(xì)化工、精尖學(xué)科用水