Theta Probe平行角分辨XPS微探針

Thermo's Theta Probe combines advanced monochromator and lens and detector technology to provide rapid, precise analysis. With the revolutionary ARXPS capability to provide angular data simultaneously without tilting the sample
 

Theta Probe是一款小光斑X射線光電子能譜儀，無需樣品傾斜即可進(jìn)行角分辨譜收集，具備非破壞性超薄膜表征功能。
新興技術(shù)依賴于固體表面次表面區(qū)域的工程改性。這些技術(shù)包括生物醫(yī)學(xué)設(shè)備，表面改性聚合物以及應(yīng)用于*半導(dǎo)體器件的材料。對于這種類型的材料，確切了解表面幾個納米尺度內(nèi)的組成至關(guān)重要。Theta Probe是一款通過平行角分辨XPS（PARXPS）測試的*XPS。Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)內(nèi)的*軟件處理所有ARXPS數(shù)據(jù)，并生成準(zhǔn)確的分析結(jié)果。
XPS是眾多材料特性表征技術(shù)中行之有效的測試手段，目前已成為從生物材料到半導(dǎo)體材料等許多技術(shù)領(lǐng)域*材料開發(fā)的重要工具。Theta Probe的角分辨特征使其成為表征材料表面數(shù)納米組成的理想分析手段。這些包括自組裝單層膜，表面改性聚合物以及半導(dǎo)體器件。

主要特征
高性能X射線光電子能譜儀
Theta技術(shù)提供了平行收集超過60°角范圍角分辨X射線光電子能譜的*能力，無需樣品進(jìn)行傾斜，允許儀器對超薄膜樣品進(jìn)行非破壞性表征。
X射線單色器用戶可選光斑大小范圍15µm至400µm
平行角分辨X射線光電子能譜（PARXPS）分析無需傾斜樣品
具備安裝大樣品或多外樣品
基于Windows的Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制
CCD樣品校準(zhǔn)顯微鏡垂直于樣品表面

透鏡、能量分析器和檢測器
光電子通過電磁透鏡大角度（60°）收集
如此大的接收角使靈敏度zui大化，允許在PARXPS測試時大角度范圍收集光電子
透鏡軸線與一般樣品成50°角，因此光電子在超過20°至80°角范圍（相對于一般樣品）內(nèi)被收集
180°半球能量分析器輸出面配置二維檢測器
二維檢測器提供了多通道檢測手段，擁有多達(dá)112個能量通道和多達(dá)96個角通道
Theta Probe中的透鏡功能*，因為它可以在兩種模式操作：
普通模式，在沒有角分辨測試需求時收集光譜
角分辨模式

X射線光源
所有Theta Probe儀器均配置微聚集單色器
用戶可以通過選擇15µm至400µm范圍內(nèi)的光斑大小來定義分析區(qū)域面積

深度剖析
數(shù)字化控制的EX05離子槍是可用于提供優(yōu)異的深度剖析測試，即便使用低能離子
樣品多方位旋轉(zhuǎn)可用于zui終的深度剖析測試

樣品安裝
所有Theta Probe儀器均配置電機(jī)驅(qū)動五軸樣品臺
樣品臺可安裝大樣品——移動范圍X軸和Y軸70mm，Z軸（高度）25 mm

真空系統(tǒng)
分析室使用5毫米厚鉬合金材料制造，zui大限度地提高磁屏蔽效率，而不是使用效率較低的內(nèi)部或外部屏蔽

樣品制備
如需要，儀器可以配置系列制備室之一

Thermo Scientific表面分析儀器和部件由Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制：
軟件集成了測試分析的所有方面，包括儀器控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理和報告生成
基于Windows的軟件包，可以通過網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程控制，輕易實(shí)現(xiàn)與第三方軟件如微軟Word軟件兼容
負(fù)責(zé)從樣品分析到報告生成整個測試分析過程