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      上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
                當(dāng)前位置：上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司>>檢測(cè)設(shè)備>>ZETA  Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀
            
      
			
      
				
      
					
      ZETA  Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀
      
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      廠商性質(zhì)代理商
      
		                    							
      所  在  地上海
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：陳靜靜查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2024-06-05 09:36:25瀏覽次數(shù)：113次
							
      
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      經(jīng)營(yíng)模式：代理商
      
						
      商鋪產(chǎn)品：723條
      
						
      所在地區(qū)：上海上海市
      
						
      聯(lián)系人：陳靜靜 （銷售經(jīng)理）
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀概述型號(hào)：Zeta-380/Zeta-380I產(chǎn)品：光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)品牌：Zeta澤塔簡(jiǎn)介：zeta-380i系統(tǒng)是一個(gè)自動(dòng)化的檢測(cè)和計(jì)量包裝
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			             
      Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀概述
      型號(hào)：Zeta-380/Zeta-380I
      產(chǎn)品：光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)
      品牌：Zeta澤塔
      簡(jiǎn)介：zeta-380i系統(tǒng)是一個(gè)自動(dòng)化的檢測(cè)和計(jì)量包裝，檢查HBLED底物如圖案化藍(lán)寶石晶片的優(yōu)化
       
      Zeta-380/Zeta-380I晶圓檢測(cè)和計(jì)量HBLED
      的zeta-380i系統(tǒng)是一個(gè)自動(dòng)化的檢測(cè)和計(jì)量包裝檢驗(yàn)HBLED底物如圖案化藍(lán)寶石晶片的優(yōu)化快掃描缺陷全英寸晶圓為小1μ米直徑在2.5分鐘。使用缺陷的地圖審查與高分辨率的三維光學(xué)輪廓儀的缺陷，小于30秒每缺
       
      Zeta-380/Zeta-380I簡(jiǎn)單的操作
      簡(jiǎn)單的配方和缺陷檢查結(jié)合自動(dòng)缺陷審查使用缺陷地圖文件
      完成的zeta-380i包可以配置所有的軟件和硬件需要全面的缺陷檢測(cè)和分析–以及Zeta的證明光學(xué)技術(shù)測(cè)量和報(bào)告系統(tǒng)的尺寸檢測(cè)- >檢討- >措施>分類
      縮短過程反饋的前置時(shí)間，節(jié)省了寶貴的時(shí)間。的zeta-380i配備自動(dòng)缺陷審查功能節(jié)省了時(shí)間和簡(jiǎn)化了缺陷分析
       
      從zeta-380i 3D圖像分析為大多數(shù)缺陷的答案。這減少了需要審查的耗時(shí)和昂貴的原子力顯微鏡或掃描電鏡分析的缺陷的數(shù)量。

      Zeta-380/Zeta-380I系統(tǒng)的特點(diǎn)
      相機(jī)選項(xiàng)：640x480，1024x768 1280x960
      放大倍數(shù)：35000x結(jié)合光學(xué)與數(shù)字
      照明：三（3）超亮白光LED
      機(jī)動(dòng)化階段：150mm×150mm XY旅游
      Z軸行程：40mm

        
      Zeta-380/Zeta-380I光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格
      Zeta-380/Zeta-380I缺陷檢測(cè)
      尺寸（mm）
      系統(tǒng)（寬）：1000 x 860 x 840
      計(jì)算機(jī)：381×457×102
      監(jiān)視器：596×449×240
      總重量：145磅/ 65公斤
       
      Zeta-380/Zeta-380I操作規(guī)范
      電壓：100 - 230伏
      電流：4A
      操作溫度：18-30°C，非—
      凝結(jié)，每小時(shí)1°C
      1 1 / 3“0.5X耦合攝像鏡頭
      2 2 / 3“0.35X耦合攝像鏡頭
      3靜態(tài)重復(fù)性基于VLSI 0.94μm臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)，100X / 0.9n
      目的，壓階段，與標(biāo)準(zhǔn)zdot成像模式
       
      Zeta-380/Zeta-380I性能配置
      缺陷：150秒為一個(gè)完整的4英寸圓片
      ~ PSS計(jì)量：30秒/網(wǎng)站
      三維缺陷審查：~ 30秒/站點(diǎn)的典型（zdot）
      ~ 10秒/網(wǎng)站zsi
      像素分辨率：0.09μm 0.5X耦合器和100
      民z-step：2 nm可壓階段
      13納米與標(biāo)準(zhǔn)Z驅(qū)動(dòng)器
      z軸分辨率：1?zsi選項(xiàng)
      13納米標(biāo)準(zhǔn)zdot
      repeatability3：7海里（1σ

       
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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