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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海
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更新時間：2024-06-12 09:10:50瀏覽次數(shù)：62次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線3軸機械臂真空3軸圓柱坐標潔凈機械手臂
真空3軸圓柱坐標型機械手臂特點： |
真空3軸圓柱坐標型機械手臂SVCR3000系列 |
雙手指結構可以在真空腔室內(nèi)搬運4kg以下的托盤 |
相比LVHR系列機械手臂具有較好的性價比優(yōu)勢 |
手臂關節(jié)處使用磁流體密封裝置 |
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管 |
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5µm級過濾器 |
配備動作監(jiān)視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用2相步進電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 |
可以選配2相步進電機規(guī)格 |
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) |
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式 |
可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供的手指 |
真空3軸圓柱坐標型機械手臂基本參數(shù)： |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境真空 |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 640mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離) |
升降軸行程 | 60mm |
可搬運質(zhì)量 | 10kg (手臂第3關節(jié)處基準) |
如需詳細產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們
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