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行業(yè)產(chǎn)品

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北京北方華瑞測控技術有限公司


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金屬密封型質(zhì)量流量計控制器

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號5400

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:楊小姐查看聯(lián)系方式

更新時間:2017-08-21 22:57:43瀏覽次數(shù):3217次

聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:141條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:楊小姐 (網(wǎng)絡)

產(chǎn)品簡介

【5400系列金屬密封型質(zhì)量流量計控制器設計特點】- 高精度控制,- 全316L結構- 金屬密封

詳細介紹

【概述/特點】 
KOFLOC公司簡介:
日本Kofloc公司是一家專業(yè)制造質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應用.該公司產(chǎn)品廣泛應用于半導體,LCD,燃燒,實驗室分析,生物工藝等場合.
 【技術規(guī)格】  


5400系列金屬密封型質(zhì)量流量計控制器

經(jīng)濟型,適用于半導體等行業(yè),5400是質(zhì)量控制器,5410是質(zhì)量流量計
流量范圍:10~500SCCM,1~5SLM,10~20SLM
控制閥:常閉,電磁隔膜閥
反應時間:到達設定值±2%范圍內(nèi)≤1秒
精度:±1%以內(nèi)
線性:±0.5%以內(nèi)
重復性:±0.2%以內(nèi)
使用壓差:范圍≤5SLM時,49~294KPA,5SLM <范圍≤20SLM時,147~294KPA
壓力限制:980KPA
泄露率:1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小
操作溫度:0~50°C
接觸介質(zhì)的材質(zhì):本體: SUS316L
隔膜:Ni-CO
閥座:PTFE
密封材料:Ni,SUS316L
連接:1/4VCR
電氣連接:9針插座
控制信號:0-5VDC
輸出信號:0-5VDC
電源:5400:+15 VDC (±5%) 100 mA , –15 VDC (±5%) 200 mA
   5410:+15 VDC (±5%) 100 mA , –15 VDC (±5%) 100 mA
 

 

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