實驗室冷阱是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實現(xiàn)抽氣的一種泵，是真空鍍膜設備目前獲得極限真空高，抽速至大的抽氣泵。冷凝泵是依靠制冷機獲取冷量，利用低溫表面冷凝和吸附氣體的物理過程來獲得和保持真空。它具有極限真空度高(可達10-8Pa)、清潔無油、對各種氣體都具有較大抽速等特點，同時它可以長期可靠運行，是分子泵、油擴散泵。能快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%；降溫、除霜、回溫迅速，5分鐘可再降溫；一臺設備可設計兩路負載輸出，搭配觸摸屏+PLC完善的自動化控制；具有兩路負載入口和出口溫度顯示、本機溫度顯示；當待機溫度到達后有指示燈提示，可以開始制冷。因此在半導體器件的生產(chǎn)過程中，廣泛運用于蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延等工藝。
實驗室冷阱在真空操作中的重要作用：
1.提高真空效率
真空室中的油氣和水汽，靠產(chǎn)品的低溫使其冷凝成液，減少對真空度的影響。冷凍真空干燥是常見的干燥方法，以1g冰為例，在0.1Torr時產(chǎn)生可以產(chǎn)生10000L水汽。干燥箱內(nèi)的水分將產(chǎn)生數(shù)量巨大的水汽。這些水汽如果僅靠真空泵來排除，真空泵的工作效率將會降的極低。它的低溫可以將水汽在產(chǎn)品部位直接凝結(jié)，從而提高真空泵的工作效率。這就是低溫干燥箱，低溫離心濃縮儀都要配備這款產(chǎn)品的原因。
2.減少腐蝕性試氣體真空泵的影響
抽真空體系中，經(jīng)常會有腐蝕性試劑的存在。腐蝕性試劑在抽真空過程中會轉(zhuǎn)化為氣體分子通過管路流經(jīng)真空泵排入大氣。腐蝕性氣體在流經(jīng)真空泵時，可能會對真空泵造成的損傷，如：酸性氣體會腐蝕真空泵的金屬部件。腐蝕性氣體經(jīng)過真空泵的排氣口，如果直接排入大氣，也會對空氣造成污染。
