技術應用鏈接:
Tetra 1200 LF-PC | 特殊設備
開關柜：寬 1000 mm、高 1000 mm、深 1800 mm
腔室：寬 600、高 1000 mm、深 2000 mm
腔室容積：約 1200 升
氣體供給：通過 MFC 控制的 2 個氣體通道
發(fā)生器：3 個（各為 40 kHz）
控制系統(tǒng)：配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
更多詳細資料，可聯(lián)系上海爾迪儀器科技有限公司，電話??！
關鍵詞:
Diener
等離子表面處儀
Tetra1200
未找到相應參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加
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