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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
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所 在 地上海
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更新時間：2024-06-12 09:49:06瀏覽次數(shù)：145次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線PLASMA等離子體去膠機概要：該設備是適用于硅基半導體及化合物半導體前后道的等離子體去膠設備，可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理，該系列有兩種配置分別兼容4“/6"/8“或8“/12“晶圓
PLASMA等離子體去膠機概要： |
該設備是適用于硅基半導體及化合物半導體前后道的等離子體去膠設備，可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理，該系列有兩種配置分別兼容4“/6"/8“或8“/12“晶圓。設計緊湊占地面積小，設備穩(wěn)定可靠、易于維護、產(chǎn)能高。
PLASMA等離子體去膠機特點： |
兼容晶圓尺寸為：4 " /6 " /8"或8 " /12 " |
支持2 個開放式晶圓匣或SMIF |
高精度3 軸機械手 |
2種可選等離子體源： ? RPS (400KHz Toroidal遠程等離子體源 ) ? 電感耦合等離子體源 (13.56MHz) |
高密度等離子體，去膠速率快 |
優(yōu)異的均勻性和重復性 |
占地面積小 |
耗材成本（COC）和使用成本（COO)低 |
人性化的人機交互操作系統(tǒng) |
工業(yè)計算機Windows |
需要詳細參數(shù)資料，請聯(lián)系我們
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