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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質代理商
所 在 地上海
聯(lián)系方式：陳靜靜查看聯(lián)系方式
更新時間：2024-06-12 10:09:41瀏覽次數(shù)：100次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線4軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點：超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MTCR4000系列適用于半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部
4軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點： |
超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MTCR4000系列 |
適用于半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部，檢測設備等的晶圓搬運 |
全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求 |
比MTHR系列具有更好的性價比優(yōu)勢 |
機械手臂標準臂長:160mm, 200mm |
雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間 |
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 |
配備動作監(jiān)視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 |
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 |
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 |
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指 |
4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù)： |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 |
手臂 | 雙臂 |
到達距離 | 315mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離) |
升降軸行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬運質量 | 4kg (手臂第3關節(jié)處基準) |
如需詳細產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們
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