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小流量計(jì)

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蘇州華陸儀器儀表有限公司

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產(chǎn)品簡介

小流量計(jì)可測量空氣/氧氣/氮?dú)?氬氣/氫氣/二氧化碳?xì)獾惹鍧崥怏w的流量，小流量計(jì)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子、化工、醫(yī)藥、食品等產(chǎn)品制造過程中氣體流量的檢測及控制，醫(yī)院氧氣消耗量計(jì)量、實(shí)驗(yàn)室氣體流量的檢測等，小流量計(jì)口徑*小至1mm，螺紋連接，小流量計(jì)的量程比大于100：1，小流量計(jì)傳統(tǒng)的機(jī)械式流量計(jì)比較，壓力損失大幅減小，極大的降低了能源消耗，小流量計(jì)采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累積流量，清晰直觀。

詳細(xì)介紹

小流量計(jì)傳感器采用微機(jī)械加工技術(shù)，實(shí)現(xiàn)微小流量測量，其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補(bǔ)償，廣泛應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。

工作原理：

感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，在芯片上，一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上，采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高，當(dāng)傳感器工作時(shí)，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布，如果氣體是單向流動(dòng)，則在氣道中溫度場可用下述公式來計(jì)算:

式中：氣體流動(dòng)方向?yàn)椋?，速度為ｖ，ａ為擴(kuò)散率。如上圖（式）所示，當(dāng)氣體流過芯片時(shí)，將會(huì)帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計(jì)算流體的質(zhì)量流量。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

·產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號(hào)輸出一體，并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)、控制閥門

·微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計(jì)的微流量測量靈敏度顯著提升

·微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實(shí)現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化

·單個(gè)芯片的**流量特性的微處理技術(shù)，使流量計(jì)的量程范圍大大提高

·機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì)，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠

·結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，流量計(jì)的壓力損失達(dá)到*小化

·采用國際*新的傳感技術(shù)，使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠

·開創(chuàng)零點(diǎn)自校功能，測量更準(zhǔn)確

·多種氣體實(shí)際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償

·快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)，配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理

·規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定

·精度等級高，滿足用戶高精度測量要求

·的流量計(jì)報(bào)警功能，使監(jiān)控更可靠

·操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)

·運(yùn)用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的優(yōu)選

技術(shù)參數(shù)：

·測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

·測量管徑：DN3，4，6，8，10，12 ，18

·流量范圍：50、100、300、500、1000sccm
1、2、5、10、20、30、40、50、100、150、200、300、500SLM

·流量測量準(zhǔn)確度：±1.5%FS，±2.5%FS

·工作溫度范圍：-25℃-55℃

·工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa，3.0MPa

·供電電源：24VDC±10%

·輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊

·環(huán)境溫度：-25℃-55℃

外觀尺寸：

	L	D	H	G
DN3	74	30	127	G1/8
DN6	74	30	127	G1/4
DN8	90	30	127	G3/8
DN10	130	35	127	G1/2

小流量計(jì)行業(yè)應(yīng)用：

小流量計(jì)近年來越來越多的被運(yùn)用到工業(yè)生產(chǎn)中，為提高小流量的測量的準(zhǔn)確性帶來了突破性的進(jìn)展。測量小流量的流量計(jì)有玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)和濕式流量計(jì)，一般像玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)，如果他的直徑為2.5mm，空氣流量1000ml/min就可以認(rèn)為是小流量。L/H這個(gè)級別的都可以認(rèn)為是小流量了。能測的很少，玻璃有，質(zhì)量也有，但是精度都在百分比以上。蘇州華陸專業(yè)生產(chǎn)銷售各類：小流量計(jì)！
小流量計(jì)在曝氣池氧含量的控制中起到關(guān)鍵作用，是控制系統(tǒng)中的眼睛，基于小流量計(jì)熱式原理，該流量計(jì)不需要溫度、壓力補(bǔ)償，可以輸出4～20mADC流量和溫度信號(hào)。在測量到曝氣流量后通過控制系統(tǒng)與需氧量相比較，產(chǎn)生的反饋信號(hào)控制調(diào)節(jié)閥的動(dòng)作，當(dāng)曝氣量大于所需量閥門開度減??；當(dāng)曝氣量小于所需量閥門開度增大，使供氣量達(dá)到要求。
HLMFM系列小流量計(jì)的高可靠性和重復(fù)性，以及現(xiàn)場的免維護(hù)性，諸多優(yōu)點(diǎn)使該產(chǎn)品在鼓風(fēng)曝氣測量系統(tǒng)中發(fā)揮的作用日益明顯。它不但適用在曝氣測量，也同樣適用在污水處理的廢氣回收等工藝，為污水處理提供了重要保證。
小流量計(jì)應(yīng)用于飲料設(shè)備及其它需測量小流量的設(shè)備和行業(yè)，提供**測量小流量（大概范圍35cc/m--2000cc/m)的解決方案，通過提供脈沖信號(hào)來計(jì)算流量；測量誤差正負(fù)1.5%，介質(zhì)為溫度范圍-5℃--+95℃的水和其它可兼容流體，*高壓力可達(dá)20bar.
HLMFM系列小流量計(jì)是一種采用熱式原理設(shè)計(jì)專門測量小流量的專用小流量計(jì)，它具有的精度，特別是在高溫和高壓的條件下也是如此。電子脈沖發(fā)生器也集成在流量計(jì)內(nèi)，在長期連續(xù)工作的條件下也能保持±1.5%的精度和±0.3%的重復(fù)性。由于靈巧的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，小流量計(jì)在工作時(shí)不會(huì)形成沉淀，所以儀表的工作完成是“潔凈"的。因此，即使是極為苛刻的要求，例如半導(dǎo)體集成電路和芯片的生產(chǎn)流程中使用的刻蝕劑，具有的耐腐蝕性，并如有一個(gè)極微小的顆粒落下，也會(huì)使芯片成為廢品，這些HLMFM系列小流量計(jì)都能滿足。該系列小流量計(jì)用途十分廣泛：可用于測量、調(diào)節(jié)、分配液體，包括工業(yè)、化學(xué)、石油和商用咖啡機(jī)等。
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關(guān)鍵詞：小流量計(jì) 傳感器芯片溫度傳感器控制閥

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