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質(zhì)量流量控制器的工作原理

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質(zhì)量流量控制器的工作原理

詳細(xì)介紹

質(zhì)量流量控制器的工作原理：

質(zhì)量流量控制器由驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)氣路閥門開口大小的控制(閥控)、調(diào)節(jié)、關(guān)閉等，當(dāng)要求關(guān)閉質(zhì)量流量控制器時(shí)，質(zhì)量流量控制器直接控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)執(zhí)行關(guān)閉或開起動(dòng)作，當(dāng)需要對(duì)質(zhì)量流量控制器流量實(shí)施閥控調(diào)節(jié)時(shí)，質(zhì)量流量控制器驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與流量傳感器和放大比較電路組成閉環(huán)負(fù)反饋控制，給定值由另三個(gè)控制單元提供，實(shí)際流量大小由傳感器信號(hào)放大，送給顯示模塊顯示，質(zhì)量流量控制器通過 PLC 和 D／A 模塊，借助外圍輔助電路，既能給 MFC 提供各種開關(guān)量控制信號(hào)，又能供給大小可調(diào)的模擬量信號(hào)，從而達(dá)到用軟件程序?qū)怏w的靈活控制。

質(zhì)量流量控制器實(shí)物圖片：

關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量控制器流量控制器流量傳感器傳感器

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